產(chǎn)品介紹
迄今為止，我們積累的知識已生產(chǎn)出 600 多種類型的被動隔振器。對我們的主動隔振器的需求也在不斷增長，尤其是在半導(dǎo)體等高精度制造行業(yè)。以MAPS系列為基礎(chǔ)，開發(fā)出高性能合理的主動氣動懸架系統(tǒng)MRZ系列?？蓱?yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備、電子顯微鏡、測量機等。
性能特點
- 每個單元有兩個氣壓執(zhí)行器：垂直和水平，可以體驗良好的隔振、準(zhǔn)確定位性能。
- FB+FloorFF控制。
- 實現(xiàn)輕巧緊湊，省電，價格合理。
技術(shù)參數(shù)
- 產(chǎn)地:日本
- 供給氣壓:0.6～0.8(潔凈干燥空氣)MPa
- 典型耗氣量:45-65l/min
- 耗氣量:120l/min
- 電源電壓:100～240(單相交流電，50/60Hz)V
- 功耗:120VA
- 環(huán)境溫度:0～40℃
- 相對濕度:35-85%RH
- 隔振方式:通過氣壓控制隔振
- 控制器尺寸:W435xD300xH118mm
- 控制器質(zhì)量:7.5kg
產(chǎn)品參數(shù)
