Veritas鎢燈絲掃描電鏡系列
Veritas系列保持EM科特(EmCrafts)電子顯微鏡的高性能高效率,大樣品倉(cāng)內(nèi)含5軸共心電動(dòng)樣品臺(tái),可更輕松地測(cè)量大尺寸樣品。
工作原理:
通過(guò)對(duì)電子槍內(nèi)的鎢燈絲加高電壓,使電子槍處于熱激發(fā)狀態(tài),在陽(yáng)極作用下,處于熱激發(fā)的電子槍就可以激發(fā)出電子束。經(jīng)過(guò)掃描線圈磁場(chǎng)的控制,電子束在樣品表面逐點(diǎn)掃描,激發(fā)出二次電子、背散射電子等物理信號(hào),經(jīng)探測(cè)器收集、放大器放大后,調(diào)制得圖像。鎢燈絲掃描電鏡適合大量的常規(guī)檢測(cè)。
主要用途:
鎢燈絲掃描電鏡總發(fā)射電流和束斑都較大,抗*力和穩(wěn)定性都較好,低真空下可以對(duì)不導(dǎo)電樣品無(wú)荷電成像,可用于形貌觀察、顯微結(jié)構(gòu)分析、斷口形貌分析,在材料、地質(zhì)、礦產(chǎn)、冶金、機(jī)械、化學(xué)、化工、物理、電子、生物、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域都有廣泛的用途。
EM科特(EmCrafts)Veritas系列產(chǎn)品技術(shù)亮點(diǎn):
l大尺寸樣品分析 Veritas系列可以分析常規(guī)SEM無(wú)法分析的大尺寸樣品。例如:晶圓,磁盤(pán)
l無(wú)損樣品分析 無(wú)需切割即可分析樣品。例如PCB,半導(dǎo)體圖案分析
l較重樣品分析 能夠分析重達(dá)2kg的樣品。例如巖石,鐵礦石
Veritas鎢燈絲掃描電鏡系列
技術(shù)指標(biāo):