等離子凈化器采用低溫等離子體分解油霧、廢氣等污染介質(zhì)時，等離子體中的離子起決定性的作用。流星雨狀的離子與介質(zhì)內(nèi)分子（原理）發(fā)生非彈性碰撞，將能量轉(zhuǎn)化成基態(tài)分子（原子）的內(nèi)能，發(fā)生激發(fā)、離解、電離等一系列過程使污染介質(zhì)處于活化狀態(tài)。污染介質(zhì)在等離子體的作用下，產(chǎn)生活性自由基，活化后的污染物分子經(jīng)過等離子體定向鏈化學(xué)反應(yīng)后被脫除。當離子平均能量超過污染介質(zhì)中化學(xué)鍵結(jié)合能時，分子鏈斷裂，污染介質(zhì)分解，并在等離子凈化器的作用下被收集。在低溫等離子體中，可能發(fā)生各類型的化學(xué)反應(yīng)，這主要取決于等離子的平均能量、離分子密度、氣體溫度、污染物介質(zhì)內(nèi)分子濃度及共存的介質(zhì)成分。
對氣態(tài)污染物的降解機理有足夠的能量來產(chǎn)生自由基，引發(fā)一系列復(fù)雜的物理、化學(xué)反應(yīng)。由低溫等離子體引起的氣體物化學(xué)反應(yīng)是在氣相中進行的電離、離解、激發(fā)、原子.分子間的相互結(jié)合及加成反應(yīng)。這個能量足以使大多數(shù)氣態(tài)物中的化學(xué)鍵發(fā)生斷裂，從而使其降解。
初級電子在電場中獲得加速，撞擊空氣中的氧分子。當能量超過氧分子的電離電位時氧分子離子化。失去電子的氧分子變成正極性氧離子（O2+），而釋放的電子又與另一中性氧分子結(jié)合變成負極性氧離子（O2－），結(jié)果是氧離子的兩級分化并吸附中性氧分子形成O2+、O2－、O2等氧聚集的離子群，具有的氧化性，可在很短的時間內(nèi)將污染空氣中的成分氧化分解為產(chǎn)物和水。
等離子凈化器煉油廠、橡膠廠、化工廠、家具廠、制藥廠、污水處理廠各種廢氣、廢氣均可使用。
