一、產(chǎn)品描述
主要利用渦電流測試原理,非接觸測試半導(dǎo)體材料,石墨烯,透明導(dǎo)電膜,碳納米管,金屬等材料的電學(xué)特性。
二、主要特點(diǎn)
本儀器為非接觸,非損傷測試,具有測試速度快,重復(fù)性佳,測試敏感性高,可以直接測試產(chǎn)品片等優(yōu)點(diǎn)。
三、核心模塊描述
產(chǎn)品集成方阻(電阻率)、PN型、溫度三探頭一體式測量,可廣泛用于硅片分選機(jī)、生產(chǎn)過程分析等光伏及半導(dǎo)體測量領(lǐng)域。本產(chǎn)品由如下部分組成:
1、控制主機(jī)
可實(shí)現(xiàn)電阻率探頭、PN探頭、溫度探頭、光纖信號的統(tǒng)一管理;與遠(yuǎn)程電腦進(jìn)行網(wǎng)絡(luò)通訊。
2、方阻(電阻率)探頭
主要利用渦電流測試原理,非接觸測試半導(dǎo)體材料,石墨烯,透明導(dǎo)電膜,碳納米管,金屬等材料的電學(xué)特性。
3、PN類型檢測探頭
利用光伏效應(yīng),通過測量由光伏效應(yīng)引起的表面光電壓 (SPV), 分析半導(dǎo)體材料相關(guān)性質(zhì)。