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四氟化硅傳感器

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱四方光電股份有限公司
  • 品       牌四方光電
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地武漢市
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間2024/9/4 16:38:43
  • 訪問次數(shù)422
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四方光電股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱“四方光電”)是一家從事智能氣體傳感器和氣體分析儀器的科創(chuàng)板上市企業(yè)(代碼688665)。公司2003年成立于武漢“光谷”,形成了包括光學(xué)(紅外、紫外、光散射、激光拉曼)、超聲波、MEMS金屬氧化物半導(dǎo)體 (MOX)、電化學(xué)、陶瓷厚膜工藝高溫固體電解質(zhì)等原理的氣體傳感技術(shù)平臺(tái),擁有100余項(xiàng)國(guó)內(nèi)外zhuanli,產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于空氣品質(zhì)、環(huán)境監(jiān)測(cè)、工業(yè)過程、安全監(jiān)測(cè)、健康醫(yī)療、智慧計(jì)量等領(lǐng)域。

四方光電建設(shè)有省級(jí)企業(yè)技術(shù)中心和湖北省氣體分析儀器儀表工程技術(shù)研究中心。同時(shí)公司積極融入國(guó)家技術(shù)創(chuàng)新體系,先后獲得國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)、工信部物聯(lián)網(wǎng)發(fā)展專項(xiàng)、工信部強(qiáng)基工程傳感器、科技部科技助力經(jīng)濟(jì)2020重點(diǎn)專項(xiàng)、湖北省技術(shù)創(chuàng)新重大項(xiàng)目等多個(gè)項(xiàng)目的支持,被國(guó)內(nèi)外行業(yè)機(jī)構(gòu)列為中國(guó)氣體傳感器主要廠商和代表性企業(yè),并榮獲中國(guó)物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟影響力物聯(lián)網(wǎng)傳感企業(yè)獎(jiǎng)”。

深耕傳感器領(lǐng)域21年,四方光電憑借長(zhǎng)期的技術(shù)沉淀、嚴(yán)格的質(zhì)量體系及化視野,已經(jīng)成為諸多世界500強(qiáng)及國(guó)內(nèi)外細(xì)分領(lǐng)域頭部企業(yè)的配套供應(yīng)商。目前公司產(chǎn)品已經(jīng)出口至八十多個(gè)國(guó)家和地區(qū),正在朝著傳感器領(lǐng)域的品牌邁進(jìn)。











氣體傳感器,粉塵傳感器,粉塵檢測(cè)儀,粒子計(jì)數(shù)器,甲烷傳感器,可燃?xì)怏w報(bào)警器,二氧化碳傳感器,超聲波流量計(jì),集成空氣品質(zhì)傳感器,燃?xì)獗?
加工定制 輸出信號(hào) 其他
制作工藝 其他 檢測(cè)原理 NDIR
檢測(cè)氣體 SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2 量程 1~264ppm(0~200mTorr)
四氟化硅傳感器是由四方光電自主研發(fā)的高性能氣體傳感器,產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測(cè)量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機(jī)臺(tái)內(nèi)常見預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議,適合半導(dǎo)體行業(yè)化學(xué)沉積設(shè)備、原子層沉積設(shè)備腔室的清潔終點(diǎn)監(jiān)測(cè)。
四氟化硅傳感器 產(chǎn)品信息

四氟化硅傳感器四氟化硅傳感器是由四方光電自主研發(fā)的高性能氣體傳感器,產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測(cè)量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機(jī)臺(tái)內(nèi)常見預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議,適合半導(dǎo)體行業(yè)化學(xué)沉積設(shè)備、原子層沉積設(shè)備腔室的清潔終點(diǎn)監(jiān)測(cè)。

四氟化硅傳感器四氟化硅傳感器產(chǎn)品特性

使用NDIR技術(shù),多氣體監(jiān)測(cè)支持(SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)

響應(yīng)時(shí)間快,高靈敏度

無(wú)耗材

模擬/數(shù)字通信

模塊化設(shè)計(jì),便于集成


四氟化硅傳感器技術(shù)參數(shù)

檢測(cè)原理NDIR
檢測(cè)氣體SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2
量程1~264ppm(0~200mTorr)
重復(fù)性±0.5%
線性±1%F.S.
檢測(cè)限1ppm




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