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廣電計(jì)量檢測(cè)集團(tuán)股份有限公司

全自動(dòng)高精密晶圓倒角機(jī)

參考價(jià) 1000000
訂貨量 ≥1臺(tái)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱深圳市夢(mèng)啟半導(dǎo)體裝備有限公司
  • 品       牌其他品牌
  • 型       號(hào)DL-SC150A
  • 所  在  地深圳市
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間2024/9/27 14:24:46
  • 訪問次數(shù)678
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深圳市夢(mèng)啟半導(dǎo)體裝備有限公司成立于2021年,是經(jīng)深交所主板上市公司長盈精密投資控股的子公司,是一家專注于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)與新能源產(chǎn)業(yè)的智能裝備制造企業(yè),公司主要專業(yè)從事全自動(dòng)高精密晶圓減薄機(jī)、高精密晶圓拋光機(jī)、全自動(dòng)高精密晶圓倒角機(jī)、晶圓研磨機(jī)、晶圓上蠟機(jī)等硬脆材料的加工裝備、以及高精度氣浮主軸部件系列產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。


產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)和新能源產(chǎn)業(yè)。包括但不限于太陽能電池片、LED芯片、硅片、藍(lán)寶石片、砷化鎵、氮化鎵、鉭酸鋰、鈮酸鋰等硬脆材料的加工,同時(shí),公司也提供技術(shù)支持和售后服務(wù),以滿足客戶的各種需求。


作為一家智能裝備制造企業(yè),深圳夢(mèng)啟半導(dǎo)體裝備注重技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品質(zhì)量。公司擁有一支專業(yè)的研發(fā)團(tuán)隊(duì),可以根據(jù)市場(chǎng)需求和客戶需求進(jìn)行定制化開發(fā)。同時(shí),公司也擁有生產(chǎn)設(shè)備和完善的品質(zhì)管理體系,確保每一臺(tái)設(shè)備都符合客戶的期望和要求。在未來的發(fā)展中,深圳市夢(mèng)啟半導(dǎo)體裝備有限公司將繼續(xù)致力于技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品質(zhì)量提升,為客戶提供更優(yōu)質(zhì)、更可靠的智能裝備解決方案。

 

全自動(dòng)晶圓減薄機(jī)、晶圓研磨機(jī)、晶圓倒角機(jī)、CMP拋光機(jī)
1、電源供應(yīng)為三相380V。
2、環(huán)境要求;無易爆易燃和腐蝕氣體;26℃恒溫?zé)o塵車間:40-85%RH。
3、氣源使用壓力為0.5Mpa-0.8 Mpa,管徑010。
4、真空負(fù)壓為-80kpa--85kpa,管徑010。
5、水源使用壓力為0.25Mpa-0.4Mpa,管徑 012。
全自動(dòng)高精密晶圓倒角機(jī) 產(chǎn)品信息
設(shè)備優(yōu)勢(shì)

◎ 晶圓倒角單元采用側(cè)向進(jìn)給磨削原理,兼容中?4'' / ?6'' / ?8''(Φ100~Φ200)晶圓倒角加工。


◎ 設(shè)備配有精密在線測(cè)量厚度儀單元和CCD視覺模組,加工時(shí)先測(cè)量產(chǎn)品厚度和精確定位圓心控制倒角角度。加工完后可測(cè)量直徑,真圓度,直線邊到圓心尺寸,倒角邊尺寸。


◎ 設(shè)備具有多段倒角程序、粗磨、精磨倒角功能,滿足各類工藝需求。


◎ 設(shè)備核心磨削主軸、承片主軸及視覺定位和測(cè)厚系統(tǒng)都是自主研發(fā)生產(chǎn)。


◎ 全自動(dòng)上下料和不良品下料工位。可進(jìn)行0.4mm-1.5mm厚的晶圓雙面倒角加工。


◎ 配置了觸摸式液晶顯示器,提高了操作便利性。控制畫面可同步顯示加工狀況和設(shè)備狀態(tài),操作人員只要觸摸控制畫面上的按鈕,就可以簡單地完成操作。


性能參數(shù)
參數(shù)名稱單位DL-SC150ADL-SC200A
晶圓尺寸in兼容?4''/?6''

兼容?4''/?6''/?8''

研磨方式-晶圓旋轉(zhuǎn)進(jìn)給磨削
砂輪直徑mm?205金剛石砂輪?205金剛石砂輪
主軸
額定功率
KW11
額定轉(zhuǎn)速范圍RPM500~3000500~3000
Notch主軸
額定功率KW-0.5
額定轉(zhuǎn)速范圍RPM-1000~60000
產(chǎn)品和研磨臺(tái)定位精度um±4±4
厚度測(cè)量重復(fù)精度um±2±2
磨削精度直徑控制精度um1515
晶圓真圓度控制能力um<10<10
倒角面幅精度um<20<20
平邊/次平邊角度控制能力±0.05±0.05
設(shè)備尺寸(W x D x H)mm2000x1150x19502000x1150x1950
設(shè)備重量KG約1000約1000


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