Park NX-Hivac
用于故障分析與氣氛敏感材料研究的高真空原子力顯微鏡
Park NX-Hivac通過為失效分析工程師提供高真空環(huán)境來提高測量敏感度以及原子力顯微鏡測量的可重復(fù)性。與一般環(huán)境或干燥N2條件相比，高真空測量具有準(zhǔn)確度高、可重復(fù)性好及針尖和樣本損傷低等優(yōu)點(diǎn)，因此用戶可測量各種故障分析應(yīng)用中許多信號(hào)響應(yīng)，例如掃描擴(kuò)散電阻顯微術(shù)(SSRM)的摻雜物濃度。
Park NX-Hivac使得真空環(huán)境中高精確度和高分辨率測量的材料科學(xué)研究遠(yuǎn)離氧氣與其它藥劑的影響。
在高真空條件下執(zhí)行掃描擴(kuò)散電阻顯微鏡測量可減少所需的針尖-樣本相互作用力，從而大幅度降低對(duì)樣本和針尖的損傷。如此可延長各針尖的使用壽命，使掃描更加低成本和便捷，并通過提高空間分辨率和信噪比得到更為精確的結(jié)果。因此，利用NX-Hivac進(jìn)行的高真空掃描擴(kuò)散電阻顯微術(shù)測量可謂是故障分析工程師增加其吞吐量、減少成本和提高準(zhǔn)確性的明智選擇。
Park Hivac 管理器
NX-Hivac 真空自動(dòng)控制
Hivac 管理器通過一鍵單擊在邏輯和視覺上控制真空條件抽氣和排氣過程來實(shí)現(xiàn)高真空。各個(gè)過程通過顏色和圖示變化得到直觀監(jiān)控，一鍵單擊后您即可無需操心真空操作順序。更快速、更簡便的真空控制軟件使原子力顯微鏡的使用更便捷更高效。
高級(jí)自動(dòng)化特點(diǎn)
NX-Hivac具有大量功能從而能夠減少用戶輸入。換言之，您可以更快速地掃描，提高實(shí)驗(yàn)室產(chǎn)量。
配備電控載物臺(tái)的StepScan 自動(dòng)化掃描
StepScan允許用戶能夠?qū)ζ骷M(jìn)行編程從實(shí)現(xiàn)而快速便捷地多區(qū)域成像。NX-Hivac讓您只需五步即可完成樣本掃描：掃描、提升懸臂、移動(dòng)電動(dòng)平臺(tái)至用戶定義坐標(biāo)區(qū)域、進(jìn)針及重復(fù)掃描。如此可極大地提高生產(chǎn)率，減少用戶輸入。
電動(dòng)激光對(duì)準(zhǔn)
Park電動(dòng)激光對(duì)準(zhǔn)使用戶無需輸入即可無縫銜接自動(dòng)化測量例程。憑借著我們的預(yù)準(zhǔn)直懸臂架，在更換探針時(shí)激光已對(duì)準(zhǔn)懸臂。只需要調(diào)整定位旋鈕，便可在X和Y軸上任意定位激光光點(diǎn)，達(dá)到位置。
提高精度和生產(chǎn)率
NX-Hivac即是精準(zhǔn)的高性能原子力顯微鏡，同時(shí)也是用于故障分析的方便的原子力顯微鏡之一。Park NX-Hivac幫您可以提高自己的生產(chǎn)效率，并確保取得靠譜的結(jié)果。
閉環(huán)XY和Z軸掃描儀
利用兩個(gè)獨(dú)立的閉環(huán)XY和Z軸撓曲掃描儀，您可以確信掃描的高精準(zhǔn)度。NX-Hivac提供低殘余彎曲的平面和正交XY軸掃描，使得整個(gè)掃描范圍內(nèi)的離面運(yùn)動(dòng)距離低于1 nm。此外，NX-Hivac的特色還有非線性為低于0.5%的15 μm掃描范圍的高速Z軸掃描儀，無需進(jìn)行軟件后期處理即可獲得精準(zhǔn)的二維和三位測量。
低噪聲XYZ軸位置傳感器
NX-Hivac具有Park原子力顯微鏡行業(yè)的低噪聲Z軸探測器功能，可準(zhǔn)確測量樣本形貌，同時(shí)低噪聲XY軸閉環(huán)掃描將前后掃描間隙降低至掃描范圍的0.15%。
24位數(shù)字電子控制器
NX-Hivac的一大特點(diǎn)是NX系列電子控制器可實(shí)現(xiàn)時(shí)間浪費(fèi)最小化、精度。我們的控制器為全數(shù)字、24位高速器件，用戶能夠利用其執(zhí)行一系列掃描，包括我們的真正非接觸（True Non-Contact）模式。控制器具有低噪聲設(shè)計(jì)和高速處理部件，是精密電壓和電流測量及納米級(jí)成像的之選。嵌入式電子產(chǎn)品同時(shí)具有數(shù)字信號(hào)處理特點(diǎn)，用戶可輕松地分析測量值和成像。
Specification
Scanner
XY scanner: 50 μm × 50 μm (100 μm x 100 μm optional)
Z scanner: 15 μm
Optics
Objective lens: 10×
5M pixel CCD
Sample Stage
XY stage travel: 22 mm x 22 mm
Sample size: 50 mm x 50 mm, up to 20 mm thickness
Physical
Information
Inner vacuum chamber: 300 mm x 420 mm x 320 mm
Outer vacuum (including granite & pump): 800 mm x 950 mm x 730 mm
Software
SmartScan: Park AFM operating software
XEI: AFM data analysis software
Hivac Manager: Auto vacuum control software
High Vacuum
Vacuum level: Typically less than 1 x 10-5 torr
Pumping speed: Reach to 10-5 torr within 5 min.
Electronics
ADC: 18 channels
4 high-speed ADC channels (50 MSPS)
24-bit ADCs for X, Y, and Z position sensor
DAC: 12 channels
2 high-speed DAC channels (50 MSPS)
20-bit DACs for X, Y, and Z positioning
3 channels of integrated lock-in amplifier
