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廣電計量檢測集團股份有限公司

HMDS氣相成底膜烘箱 真空HMDS氣相烘箱

參考價 98980
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱上海雋思實驗儀器有限公司
  • 品       牌雋思
  • 型       號
  • 所  在  地上海市
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時間2024/11/28 11:06:38
  • 訪問次數(shù)999
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上海雋思實驗儀器有限公司(以下簡稱“雋思儀器”)是一家專業(yè)從事儀器設備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及服務的企業(yè)。主要生產(chǎn)半導體工藝設備、環(huán)境模擬儀器設備、線纜試驗機、橡塑試驗檢測設備、黑蒜設備等的高新技術(shù)型企業(yè),具有很強的自主開發(fā)、設計能力,服務于電子、電力、通訊、環(huán)保、農(nóng)業(yè),建筑,節(jié)能等行業(yè);多年來,公司以“真摯的服務、優(yōu)質(zhì)的品質(zhì)”為宗旨,為國內(nèi)外廣大用戶提供了周到的售前、售中、售后服務。贏得了國內(nèi)外客戶的*好評,更為我們業(yè)務的快速發(fā)展奠定了一定的基礎。我們的服務也更精益求精,更完善!
 雋思儀器主要業(yè)務有HMDS預處理系統(tǒng),HMDS烘箱,潔凈烤箱,百級潔凈烘箱,氮氣烘箱,高溫無氧烘箱,真空無氧烘箱,無塵無氧化烘箱,抗粘劑涂膠機,精密恒溫加熱臺,快速高低溫氣流儀,超低溫試驗箱,高低溫試驗箱,高低溫交變濕熱箱定做,HMDS真空涂膠烘箱,低溫脆性檢測儀,黑蒜發(fā)酵設備,導體直流電阻測試儀,電線電纜檢測儀器,真空烘箱,黑蒜試驗機,橡塑檢測試驗機等。
    不斷追求技術(shù)進步、提升專業(yè)服務能力,做一個專業(yè)的儀器設備供應商是我們的發(fā)展目標。企業(yè)內(nèi)部實施了CRM、ERP項目管理,在產(chǎn)品開發(fā)、質(zhì)量控制、集成供應鏈、人力資源管理、財務管理等諸多方面取得了長足發(fā)展。同時建立了標準化的服務流程,形成了覆蓋全國的快速服務網(wǎng)絡,以盡心盡責的服務理念和完備的技術(shù)得到用戶的*稱贊。我們將珍視每一次與您合做的機會,以飽滿的熱情、真誠的服務與您共創(chuàng)燦爛的未來!






HMDS烘箱,百級潔凈烘箱,氮氣烘箱,高溫無氧烘箱,PI烤箱,真空無氧烘箱,無塵無氧化烘箱,抗粘劑涂膠機,精密恒溫加熱臺,超低溫試驗箱
材質(zhì) 不銹鋼316 工作室尺寸 300-1000mm
功率 2800 加工定制
類型 真空 適用范圍 半導體,電子,醫(yī)療,新材料
溫度范圍 200℃ 重量 290kg
HMDS氣相成底膜烘箱 真空HMDS氣相烘箱在晶圓上行噴涂hmds預處理的工藝,將晶圓表面親水性的置換為疏水性的,使晶圓表面接觸角達到65或更高。
HMDS氣相成底膜烘箱 真空HMDS氣相烘箱 產(chǎn)品信息

      在集成電路制造的光刻工藝中,為了保證光刻膠在晶圓處理過程中更好的完成圖形轉(zhuǎn)移,需要在晶圓上行噴涂hmds預處理的工藝,將晶圓表面親水性的置換為疏水性的,使晶圓表面接觸角達到65或更高。

      HMDS 可以通過旋轉(zhuǎn)稀釋溶液直接涂在晶片上,并允許 HMDS 旋轉(zhuǎn)干燥(HMDS 在室溫下非常易揮發(fā))。如果 HMDS 不適當干燥,則會導致顯著的附著力損失。雖然直接旋涂很容易,它僅在置換一小部分硅烷醇基團時有效。迄今為止,施加增粘劑的優(yōu)選方法是將基材置于 HMDS 蒸汽中,通常是在升高溫度和降低壓力下。這樣在沒有過多 HMDS 沉積的情況下對基材進行良好的涂覆,并且更高的溫度會導致與硅烷的反應更。用 HMDS 正確處理后,基材可以放置數(shù)天而不會明顯重新吸附水。在同一HMDS氣相成底膜烘箱中進行脫水烘烤和蒸汽灌注可提供性能。

HMDS氣相成底膜烘箱  真空HMDS氣相烘箱適用產(chǎn)品

硅片、磷化銦lnP、砷化鎵GaAs、鈮酸鋰LiNbO?、硫化鋅ZnS、掩膜版、玻璃、石英片、藍寶石、晶圓、碳化硅等第三代、第四代半導體材料等。

HMDS氣相成底膜烘箱  真空HMDS氣相烘箱性能

HMDS藥液泄漏報警提示

HMDS低液位報警提示

工藝數(shù)據(jù)記錄功能

藥液管道預熱功能

程序鎖定保護等功能

產(chǎn)品兼容性:1-12寸產(chǎn)品、方片、碎片及大型面板(可定制)

溫度范圍:RT-200℃

真空度:1torr

操作方式:人機界面,一鍵運行

HMDS控制:可控制HMDS 藥液添加量

真空泵:無油渦旋真空泵

附件功能:圖像反轉(zhuǎn)功能


關(guān)鍵詞:人機界面 真空泵
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