UHV增量式光柵
極低抖動(dòng),實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的機(jī)器定位

TONiC™系列光柵采用了雷尼紹經(jīng)過市場(chǎng)檢驗(yàn)的光學(xué)濾波系統(tǒng)和的信號(hào)處理技術(shù)。自動(dòng)增益控制 (AGC) 和自動(dòng)偏置控制 (AOC) 技術(shù)可減少讀數(shù)頭內(nèi)的模擬信號(hào)噪聲和數(shù)字抖動(dòng)。TONiC光柵提供 <±0.5 nm RMS的極低信號(hào)輸出抖動(dòng)和 <±30 nm的低電子細(xì)分誤差 (SDE),使系統(tǒng)能夠更好地保持位置并在直線電機(jī)應(yīng)用中產(chǎn)生更少的熱量。
高分辨率,可達(dá)1 nm

當(dāng)與可選的Ti接口配合使用時(shí),TONiC™系列光柵可提供高達(dá)1 nm的超高分辨率。對(duì)于需要精確控制速度和位置的應(yīng)用,此功能使TONiC成為此類應(yīng)用的理想選擇,尤其是在低速應(yīng)用中。
超高真空和功能安全型號(hào)

TONiC™光柵可針對(duì)各種應(yīng)用提供一體解決方案;TONiC與其特定型號(hào)TONiC UHV(用于超高真空應(yīng)用)和TONiC FS(用于需要SiL2和PLd功能安全認(rèn)證的系統(tǒng))具有相同的優(yōu)異測(cè)量能力。
柵尺選項(xiàng)
直線柵尺用于提供直線位置信息 — 通常是X軸、Y軸或Z軸位置。
圓光柵用于提供角度位置信息以及對(duì)旋轉(zhuǎn)元件進(jìn)行運(yùn)動(dòng)控制。
圓弧柵尺可卷繞在圓柱體、軸或圓弧上,用于測(cè)量旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的圓弧。
帶碼道選項(xiàng)的不銹鋼鋼帶
柵尺名稱 | 精度 | 柵距 | 20 °C時(shí)的熱膨脹系數(shù) | 供應(yīng)長度 | 讀數(shù)頭兼容性 |
配有可選FASTRACK™的RTLC20 ![]() | ±5 µm/m | 20 µm | 10.1 ±0.2 µm/m/°C | 最長10 m(可根據(jù)要求提供10 m以上長度) | TONiC、TONiC UHV、TONiC FS |
細(xì)窄型不銹鋼鋼帶柵尺
柵尺名稱 | 精度 | 柵距 | 熱膨脹系數(shù) | 供應(yīng)長度 | 讀數(shù)頭兼容性 |
RKLC20-S ![]() | ±5 μm/m | 20 µm | 使用端部蓋條將柵尺端部固定到基體后,柵尺的伸縮將與基體材料保持一致 | 最長20 m(可根據(jù)要求提供20 m以上長度) | TONiC、TONiC UHV |
ZeroMet™直線硬柵尺
柵尺名稱 | 精度 | 柵距 | 20 °C時(shí)的熱膨脹系數(shù) | 供應(yīng)長度 | 讀數(shù)頭兼容性 |
RELM20/RELE20 | 1 m內(nèi)為±1 µm,1 m以上為±1 µm/m | 20 µm | 0.75 ±0.35 µm/m/°C | 達(dá)1.5 m | TONiC、TONiC UHV、TONiC FS |
不銹鋼直線硬柵尺
柵尺名稱 | 精度 | 柵距 | 20 °C時(shí)的熱膨脹系數(shù) | 供應(yīng)長度 | 讀數(shù)頭兼容性 |
RSLM20/RSLE20/RSLC20 | 1 m內(nèi)為±1.5 µm,2 m內(nèi)為±2.25 µm,3 m內(nèi)為±3 µm,5 m內(nèi)為±4 µm | 20 µm | 10.1 ±0.2 µm/m/°C | 達(dá)5 m | TONiC、TONiC UHV、TONiC FS |
鍍金鋼帶
柵尺名稱 | 精度 | 柵距 | 熱膨脹系數(shù) | 供應(yīng)長度 | 讀數(shù)頭兼容性 |
RGSZ20/RGSN20 ![]() | ±15 µm/m | 20 µm | 使用端部蓋條將柵尺端部固定到基體后,柵尺保持與基體相同的熱膨脹 | 可達(dá)50 m(如需50 m以上長度,請(qǐng)聯(lián)系雷尼紹) | TONiC、TONiC UHV |
細(xì)窄型不銹鋼圓弧鋼帶
柵尺名稱 | 精度 | 柵距 | 熱膨脹系數(shù) | 供應(yīng)長度 | 讀數(shù)頭兼容性 |
RKLC-S、RKLR-S | 20 µm:±5 μm/m 40 µm:±15 μm/m | 20 µm/40 µm | 使用端部蓋條將柵尺端部固定到基體后,柵尺的伸縮將與基體材料保持一致 | 最長20 m(可根據(jù)要求提供20 m以上長度) | TONiC |
不銹鋼圓光柵
柵尺名稱 | 刻劃精度(取決于圓光柵直徑) | 柵距 | 20 °C時(shí)的熱膨脹系數(shù) | 圓光柵直徑 | 讀數(shù)頭兼容性 |
RESM20/REST20 ![]() | ±3.97至±0.38角秒 | 20 µm | 15.5 ±0.5 μm/m/°C | 52至550 mm | TONiC、TONiC UHV、TONiC FS |
超高精度不銹鋼圓光柵
柵尺名稱 | 安裝精度(取決于圓光柵直徑) | 柵距 | 20 °C時(shí)的熱膨脹系數(shù) | 圓光柵直徑 | 讀數(shù)頭兼容性 |
REXM20/REXT20 | (直徑≥100 mm)±1角秒 | 20 µm | 15.5 ±0.5 µm/m/°C | 52至417 mm | TONiC、TONiC UHV |