說明：
Formtracer Extreme (超級(jí)表面粗糙度/ 輪廓測(cè)量裝置)SV-C3000CNC / SV-C4000CNC
基本技術(shù)參數(shù):
基座尺寸 (W x H): 750 x 600mm
基座材料: 花崗巖
重量: 240kg, 250kg (高立柱型)
電源: 100 – 240VAC ±10%, 50/60Hz
能耗: 500W (主機(jī))
輪廓測(cè)量技術(shù)參數(shù):
X1 軸
測(cè)量范圍: 200mm
分辨率: 0.05μm
檢測(cè)方法: 反射型線性編碼器
驅(qū)動(dòng)速度: 200mm/s (CNC)
0 - 60mm/s (操縱桿)
測(cè)量速度: 0.02 - 2mm/s
移動(dòng)方向: 向前／向后
直線度: 2μm/200mm
* 以X 軸為水平方向上
指示精度: ±(1+0.02L)μm,
(20° C 時(shí)) * L 為驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度(mm)
a 軸
傾角: -45° 至 +10°
分辨率: 0.000225°
旋轉(zhuǎn)速度: 1rpm
Z2 軸 (立柱)
垂直移動(dòng): 300mm 或 500mm
分辨率: 0.05μm
檢測(cè)方法: 反射型線性編碼器
驅(qū)動(dòng)速度: 200mm/s (CNC)
0 - 60mm/s (操縱桿)
Z1 軸 (檢測(cè)器)
測(cè)量范圍: ±25mm
分辨率: 0.2μm (SV-C3100CNC),0.05μm (SV-C4100CNC)
檢測(cè)方法: 線性編碼器 (SV-C3100CNC),
激光全息測(cè)微計(jì) (SV-C4100CNC)
直線位移: ± (3+I2HI/25)μm (SV-C3100CNC)
精度 (20° C 時(shí)) ± (0.8+I0.5HI/25)μm (SV-C4100CNC)
*H 為基于水平位置的測(cè)量高度 (mm)
測(cè)針上／下運(yùn)作: 弧形移動(dòng)
測(cè)針方向: 向下
測(cè)力: 30mN
跟蹤角度: 向上: 70° , 向下: 70°
(根據(jù)表面粗糙度，使用標(biāo)準(zhǔn)單切面測(cè)針)
測(cè)針針尖 半徑: 25μm、硬質(zhì)合金
