μ Phase高精度干涉儀用于測量高精度要求的光學零件，材料包括玻璃、塑料、金屬、陶瓷等，被國家，以及各大天文、光電研究所應用于精密光學檢測，測量精度及穩(wěn)定性已得到研究機構的廣泛肯定。
應用范圍：
可用于測量平面和球面光學零件
可完成各種類型的反射和透射檢測
可采用透射法檢測雙膠合透鏡
曲率半徑測量
非球面、柱面、輪胎面等面型的測量
大型平面的檢測
光學材料的均勻性檢測
理想的成盤拋光分塊鏡面型檢測
典型應用
μPhase® SPHERO UP， μPhase® PLANO UP，μPhase® Plano Down
l 用于測量不同的平面和球面光學零件
l 操作直觀而簡單，適合非專業(yè)人士操作
l 測量范圍：
μPhase® Plano Down：平面φ≤2 mm 至 150 mm
μPhase® PLANO UP：平面φ≤2 mm 至 100 mm
μPhase® SPHERO UP：球面，曲率半徑（凸面）2mm—225mm，直徑55mm
球面，曲率半徑（凹面）-3mm—-570mm
l 結構緊湊，占用空間下，可靈活的與產線結合
μPhase® Vertical
l 適用于廠房、車間、實驗室的標準干涉儀檢測系統(tǒng)
l 立式檢測，結構緊湊，占地面積小
l 標配一個沿Z軸方向電動平移的平臺，可選配第二個平臺
l 傾斜及X/Y平移精調
l 可完成各種類型的反射與透射檢測
l 可采用透射法檢測雙膠合透鏡
l 凹面與凸面球面鏡的檢測范圍：標準曲率半徑范圍：1mm-225mm，直徑55mm（采用50mm物鏡μLens PLANO 50）
l 集成半徑測量單元
l 可選CGH，用于測量非球面、柱面、輪胎面等
l Z軸方向設置導軌電機，電動升降
l 曲率半徑實現(xiàn)一鍵式自動測量
μPhase® UNIVERSAL 100
l 用于測量平面和球面的4英寸干涉檢測系統(tǒng)
l 球面測量范圍：凹面曲率半徑-3000mm（提供相應導軌）
l 平面測量范圍：98mm
l 半徑測量系統(tǒng)集成導軌和光柵尺
l 適合長焦光學零件和系統(tǒng)的檢測
l 與市場上通用的4英寸標準球面物鏡相兼容
l 可選旋轉對稱非球面的檢測配件，檢測范圍10mm-80mm，CGH檢測輪胎面、柱面等
μPhase® Plano 300
l 理想的大型平面的檢測系統(tǒng)，光學材料的均勻性檢測系統(tǒng)
l 理想的成盤拋光分塊鏡面形檢測系統(tǒng)
l 測量范圍60-300mm
l 立式檢測系統(tǒng)，其它檢測方式根據(jù)要求可訂制
l 具有重型光學元件的支承、調整等操作功能。
技術規(guī)格：
| 測量原理 | 泰曼格林型相移式干涉儀，可轉成菲索型 |
| 測量能力 | 光學反射面的面形、光學零件或系統(tǒng)的透過波前 |
| 激光波長 | 標配632.8nm，335nm-1064nm間波長可選 |
| PV重復精度 | λ/400（λ=632.8nm） |
| RMS重復精度 | λ/6500（λ=632.8nm） |
| 測量不確定度 | λ/20（λ=632.8nm） |
| 相機分辨率 | μPhase® 500：500×500像素 μPhase® 1000：1000×1000像素 |
| 數(shù)字化位 | 8位 |
| 激光器類型 | 穩(wěn)頻氦氖激光器 |
| 激光器防護等級 | 3A |
