9成新 布魯克DEKTAK150接觸式臺(tái)階儀
臺(tái)階儀dektak 150 表面
輪廓儀（探針式）
規(guī)格：
測(cè)試技術(shù)：探針輪廓技術(shù)
測(cè)試功能：二維表面輪廓測(cè)試
樣品視場(chǎng)：640*480像素，usb；17 inc 平板顯示器
探針傳感器：低慣量傳感器（lis 3）
探針壓力：使用lis 3傳感器：1至15 mg
使用n-lite傳感器：0.03至15 mg
探針選項(xiàng)：探針曲率半徑可選范圍：50 nm至25 um;
高徑比針尖：10 um * 2 um 和200 um*20 um
樣品載物臺(tái)：手動(dòng)x/y/@：100*100 mm, 360度旋轉(zhuǎn)，可手動(dòng)校平；
可選y自動(dòng)移動(dòng)載物臺(tái)，100 mm行程，1um重現(xiàn)性，0.5 um分辨率；
可選x-y自動(dòng)移動(dòng)載物臺(tái)，150 mm行程；
1um重現(xiàn)率，0.5 um 分辨率
計(jì)算機(jī)系統(tǒng)：主機(jī)使用celeron或者semprom處理器
軟件：dektak軟件
臺(tái)階檢測(cè)軟件
可選應(yīng)力測(cè)量軟件
可選三維vision分析軟件
可選縫合軟件
減震裝置：可選桌式震動(dòng)隔離裝置
可選臺(tái)式震動(dòng)隔離裝置
性能
掃描長(zhǎng)度范圍 55mm（2.1英寸）
每次掃描數(shù)據(jù)點(diǎn)zui多12萬(wàn)數(shù)據(jù)點(diǎn)
zui大樣品厚度高達(dá)90 mm （4英寸），取決于配置
zui大晶圓尺寸 150 mm（6英寸）
臺(tái)階高度重現(xiàn)性 6埃
垂直范圍：標(biāo)準(zhǔn)524um（0.02英寸）；可選1mm
垂直分辨率：zui大1a（6.55um垂直范圍下）
尺寸：292 mm *508 mm*527 mm
重量：34 kg
電源要求：
輸入電壓： 100-120vac/200-240vac, 50-60 hz
無(wú)論是用于科學(xué)研究還是工業(yè)生產(chǎn)，dektak 150探針式表面輪廓儀都具有業(yè)內(nèi)的表現(xiàn)性能，zui高的測(cè)量重復(fù)性以及zui大的掃描范圍。dektak 150集四十多年的技術(shù)積累和創(chuàng)新于一身，為滿(mǎn)足用戶(hù)不同應(yīng)用方向的需要提供了多種可選配置。堅(jiān)固的鋁質(zhì)材料鑄成的機(jī)身框架以及支撐部件顯著提高了儀器的重復(fù)精度，并降低了地板噪音對(duì)測(cè)量的干擾?；趙indows®xp的軟件用戶(hù)界面，使用戶(hù)迅速掌握dektak 150。分析功能齊全，界面直觀，包括從簡(jiǎn)便的一鍵"進(jìn)針即測(cè)量"，到多次掃描結(jié)果的自動(dòng)分析。通過(guò)選配三維成像附件套裝還可以*地?cái)U(kuò)充儀器的功能。
9成新 布魯克DEKTAK150接觸式臺(tái)階儀
