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廣電計量檢測集團股份有限公司

多軸路同步測量激光干涉儀(型號:ZLM800,德國JENAer公司生產(chǎn),)

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱上海貝丁漢工業(yè)自動化設(shè)備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質(zhì)代理商
  • 更新時間2025/3/7 11:31:24
  • 訪問次數(shù)52
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上海貝丁漢工業(yè)自動化設(shè)備有限公司(意大利帕瓦內(nèi)稱重系統(tǒng)有限公司中國聯(lián)絡處)——主要從事工業(yè)自動化儀器儀表、機械設(shè)備、電子產(chǎn)品、五金交電及其配件等的銷售和技術(shù)服務工作。 我們致力于將歐美*的工業(yè)自動化儀器儀表和機械設(shè)備介紹到中國,滿足中國各行業(yè)市場對工業(yè)產(chǎn)品的需要。



我們經(jīng)營產(chǎn)品主要包括稱雙頻激光干涉儀、多點溫度測量儀、材料色散測量儀、相位波前角色散測量儀、載波包絡相位調(diào)諧儀、載波包絡相移測量儀、激光對中儀、激光平面度測量儀、激光同軸度測量儀、激光孔位測量儀、重傳感器、稱重變送器、稱重接線盒、PT100溫度變送器、熱電偶溫度變送器、電壓信號轉(zhuǎn)換器、電流信號轉(zhuǎn)換器、頻率變送器、模擬信號-頻率轉(zhuǎn)換器、模擬量信號轉(zhuǎn)頻率信號等。



除實物產(chǎn)品外,我們還提供各種自動化控制系統(tǒng)的成套設(shè)計、通訊程序編寫及各種配套方案等技術(shù)支持,主要包括:稱重配料控制系統(tǒng)解決方案、定量包裝控制系統(tǒng)解決方案、高精度溫度控制系統(tǒng)解決方案及各種計量控制系統(tǒng)解決方案。



我們的產(chǎn)品廣泛應用于機械和設(shè)備工程、汽車、倉儲、輸送、印刷、門控、化工、冶金、石油、電力、水利、鋼鐵、輕工、制藥、造紙、制革、噴涂、水泥、玻璃、食品、陶瓷、化纖、塑料、飼料、煤炭、紡織、農(nóng)業(yè)和包裝等行業(yè)。歡迎您選購我們代理經(jīng)銷的各種產(chǎn)品,我們將以飽滿的熱情,周到的服務,客戶*的原則,為您提供滿意的產(chǎn)品




雙頻激光干涉儀,多點溫度測量儀,材料色散測量儀,相位波前角色散測量儀,激光平面度測量儀,激光同軸度測量儀,激光孔位測量儀
產(chǎn)品功能ZLM800多軸路同步測量激光干涉儀——真正的雙頻激光干涉儀,主要用于各種平臺和部件的微位測量、各種擺鏡角度變化量的監(jiān)測、運動平臺位移量和角度變化的檢測、光刻機幾何量的測量、數(shù)控機床幾何量的測量等,最多可實現(xiàn)六軸聯(lián)動
多軸路同步測量激光干涉儀(型號:ZLM800,德國JENAer公司生產(chǎn),) 產(chǎn)品信息

產(chǎn)品功能
    ZLM800多軸路同步測量激光干涉儀——真正的雙頻激光干涉儀,主要用于各種平臺和部件的微位測量、各種擺鏡角度變化量的監(jiān)測、運動平臺位移量和角度變化的檢測、光刻機幾何量的測量、數(shù)控機床幾何量的測量等,最多可實現(xiàn)六軸聯(lián)動。也可通過位移+偏擺+俯仰的三角關(guān)系檢測物體的振動變化。
    1.納米級的多軸聯(lián)動位移、速度、加速度的動靜態(tài)測量分析及運動控制環(huán)同步測量校準;
    2.同步實時測量多軸聯(lián)動驅(qū)動部件的俯仰、扭擺、滾動的角位移變化, X-Y-Z 軸的聯(lián)動插補位移誤差及驅(qū)動匹配誤差分析;
    3.納米級振動的多軸向同步數(shù)據(jù)采集測量和分析。


性能優(yōu)勢

l          系統(tǒng)采用雙頻激光發(fā)射器及多軸路干涉信號同步數(shù)據(jù)處理器,是正意義上的雙頻激光干涉儀,頻差為640MHz。請用戶注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”概念的區(qū)別,雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩(wěn)定。世界范圍內(nèi)只有兩家雙頻激光干涉儀的生產(chǎn)商,德國耶拿爾公司是其中的一家。
l          全部部件皆在德國生產(chǎn)制造,絕非為了降低成本而在第三方國家進行部件加工。光學組件全部采用蔡司光學鏡,是世界上一家將的蔡司光學鏡用于激光干涉儀領(lǐng)域的產(chǎn)品制造商。
l           激光器壽命更長,可達20000小時,激光穩(wěn)頻精度高,一小時內(nèi)為±0.002ppm,在產(chǎn)品壽命內(nèi)可達±0.02ppm
l          干涉鏡采用差分干涉原理,系統(tǒng)精度更高,可達±0.4ppm。
l          基于可朔源的激光波長為位移量度量基準,應用雙頻激光外差式干涉原理及交流光電信號處理器,克服了單頻激光干涉測量的直流電平漂移及受環(huán)境因素光強變化約束的弊端,具有的增益、高信噪比和抗電磁干擾性能,實現(xiàn)了可朔源的多光路外差式激光干涉測量。
l          采樣頻率更快,達1MHz,可在0.001Hz-1MHz之間進行選擇。
l          被測物體速度16m/s(可選);采用高精度AE950 PCI數(shù)據(jù)處理器,分辨率達0.6nm(當移動速度為1m/s時,線性分辨率更可高達為0.1nm)。
l          無加速度限制;當光線微弱時,性能也十分穩(wěn)定。
l          信號延時<200ns;對電磁干擾不敏感。
l          對于多軸聯(lián)動復雜光路的角度和微位移的測量,ZLM800型是理想的選擇。

技術(shù)參數(shù)
型號:ZLM800
使用高性能PCI或機架式數(shù)據(jù)處理器
He-Ne激光平均波長:
632.8 nm
激光穩(wěn)頻精度:
一小時2x10-9±0.002ppm
壽命內(nèi)2x10-8±0.02ppm
系統(tǒng)精度(0-40℃時):
±0.4ppm
光束直徑:
6mm (可選3.2mm)
激光管突發(fā)輸出功率:
5mW (激光等級2)
每束光可測量的軸數(shù):
最多6
線性測量距離:
2m
角度測量范圍:
± 10°
速度:
2m/s
加速:
無限制
采樣頻率:
內(nèi)部1MHz,外部40MHz
預熱時間:
10分鐘
位移測量分辨率:
1.25nm
位移測量精度(20℃±0.5℃時):
±0.4ppm (μ/m)
角度測量分辨率:
0.012角秒
角度測量精度:

±0.1ppm 示值

數(shù)據(jù)接口:
積分信號
32 Bit (
實時時間)
數(shù)據(jù)延時< 20 ns
數(shù)據(jù)分析標準:
ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
工作環(huán)境:
溫度:15°C-30°C
濕度:<90%無冷凝
儲存環(huán)境:
溫度:10°C-40°C
濕度:<95%無冷凝

應用案例
以下是為某項目設(shè)計的ZLM800兩個應用案例。在個案例中,用兩個3軸角度干涉儀分別監(jiān)視兩個擺鏡的擺動,實時測試兩個擺鏡對應量(俯仰、偏擺和位移)的差異情況。在第二個案例中,用一個3軸角度干涉儀來測試擺鏡的鏡面擺動情況,2個單軸位移干涉儀檢測一個兩軸位移平臺的運動情況。


 
下述案例是為國內(nèi)某研究所某項目設(shè)計的ZLM800測量系統(tǒng)。用戶預先把被測物體放置在密閉箱中,密閉箱留有觀察窗口。所需要測量的數(shù)據(jù)是被監(jiān)視目標Ⅰ、被監(jiān)視目標Ⅱ的X、Y向的角度變化量,以及這兩個目標在Z方向的相對變化量。


ZLM800部分光路圖示例


從X、Y和Z方向同時測量位移變化,其中X和Y在一個水平層面上

從X、Y和Z方向同時測量位移變化,其中X和Y不在一個水平層面上

在水平方向同時測量位移、偏擺和俯仰角度變化(上圖)
 
在垂直方向同時測量位移、偏擺和俯仰角度變化(上圖)
 
 
同時從X和Y方向測量位移和偏擺變化(上圖)
 
同時從X和Y方向測量運動平臺兩個層面的位移變化(上圖)
 
同時從X和Y方向測量位移、偏擺和俯仰的角度的變化(1)
 
同時從X和Y方向測量位移、偏擺和俯仰的變化(2)
 
同時從X和Y方向測量位移、偏擺和俯仰的變化(3)
 
機床行業(yè)對線性編碼器和旋轉(zhuǎn)編碼器的動態(tài)同步進行標定(三個軸路)
 
光刻機應用布置圖,測量位移和角度變化


視頻資料(光刻機應用)

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