Gasfil系列擴散器,專為半導體制程中真空腔體快速放氣應用進行設計。Gasfil擴散器結(jié)合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性,過濾精度達0.003μm。的濾材結(jié)構(gòu)設計,在保證過濾效率的同時,也避免引起湍流,對工藝室環(huán)境造成影響,防止吹起顆?;蛏踔链灯鸸杵?。
產(chǎn)品特色
• 減少工藝腔體排氣時的湍流
• 適用于多種工藝氣體
• 潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測試、包裝
• 99% 完整性測試通過
• 99% 氦氣泄露檢測通過