產(chǎn)品簡介： 1700℃三溫區(qū)高溫真空管式爐 GSL-1700X-Ⅲ采用三個數(shù)字溫度控制器進(jìn)行獨立控溫，可設(shè)置 30 段升降溫程序， 中心加熱區(qū)采用 800℃級硅鉬棒加熱， 另外兩個溫區(qū)采用硅碳棒進(jìn)行加熱， 調(diào)整三個溫區(qū) 的溫度，可形成一個溫度梯度，進(jìn)行功能材料的制備。同時，本機(jī)也適用于 CVD 法制作薄膜外延生長。
產(chǎn)品型號 | 1700℃三溫區(qū)高溫真空管式爐 GSL-1700X-Ⅲ |
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。 1、水：不需要 2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地 3 、氣： 如作為 CVD 系統(tǒng)使用，需自備氣源 （標(biāo)準(zhǔn)帶有寶塔接頭，可自費(fèi)改制成為雙卡套接頭） 4、工作臺： 尺寸 1200mm×600mm×700mm ，承重 300kg 以上 5、通風(fēng)裝置：需要 |
主要特點 | 1、雙層殼體，爐膛采用高純氧化鋁纖維，設(shè)有風(fēng)冷系統(tǒng)，殼體表面溫度<60℃。 |
2 、內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，同時延長使用壽命。 | |
3、PID 控制器，每個溫區(qū)可獨立控制，可以設(shè)置 30 段升降溫程序，設(shè)有過熱和斷偶報警功能。 | |
4 、已通過 CE 認(rèn)證。 | |
技術(shù)參數(shù) | 1 、電源： AC 220V 50Hz/60Hz 9KW（需 75A 的空氣開關(guān)） |
2、氧化鋁管： 外徑 ?60mm ，內(nèi)徑 ?54mm ，長 1200mm | |
3、加熱元件： 溫區(qū) I4 根 U 型硅碳棒， 溫區(qū) II6 根 U 型硅鉬棒， 溫區(qū) III4 根 U 型硅碳棒 | |
4、熱熱區(qū)域： 總長 630mm ，溫區(qū) I 長 190mm ，溫區(qū) II 長 250mm ，溫區(qū) III 長 190mm |
5 、工作溫度： 800℃-1400℃（溫區(qū) I）， 800℃-1700℃（溫區(qū) II）， 800℃-1400℃（溫區(qū) III） 6、升溫速率： 20℃/min （溫區(qū) I）， 10℃/min （溫區(qū) II）， 20℃/min （溫區(qū) III） 7、控溫精度：± 1℃ 8、熱電偶： 1 個 B 型， 2 個 S 型 | |||
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸： 860mm×460mm×720mm；重量： 150kg | ||
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 1 | 氧化鋁管 | 1 根 |
2 | 不銹鋼法蘭 | 1 套 | |
可選配件 | 1 、KF25 轉(zhuǎn)接頭 2 、VCR 雙卡套接頭 3、波紋管 | ||
4、防腐型數(shù)字式真空顯示計 5、鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm | |||
