軟體 / 光學(xué)特點(diǎn)
高解析度:1.83μm
檢測(cè)缺點(diǎn)類別:針孔/網(wǎng)眼臟污/網(wǎng)線扭曲
Option:底片檢測(cè)(使用對(duì)應(yīng)治具)
Option:光罩檢測(cè)(使用對(duì)應(yīng)治具)
規(guī)格參數(shù)
項(xiàng)目 | 規(guī)格 |
機(jī)器尺寸(長(zhǎng)*寬*高) | 約1460(W)mm×1060(D)mm×1410(H)mm(不含螢?zāi)? |
放置范圍 | 210×280mm |
檢測(cè)范圍 | 80×100mm |
光源 | 正 / 背光LED |
光學(xué)尺解析度 | 約1.83μm |
光學(xué)尺 | 0.5μm |
攝影機(jī) | 兩百萬(wàn)或四百萬(wàn)畫像素Area(BIW) [視產(chǎn)品特性而定] |
鏡頭 | 3X(固定倍率) |
自動(dòng)對(duì)焦 | 微步進(jìn)馬達(dá)控制 / 對(duì)焦範(fàn)圍:5mm |
檢測(cè)速度 | 200mm/sec |
機(jī)架 | 花崗巖抗震平臺(tái)設(shè)計(jì) |
建議環(huán)境溫濕度 | 20士1℃155士5 %RH(恒溫恒濕,無(wú)凝結(jié)) |
電腦規(guī)格 | IntelCPU(六核心) ;Windows作業(yè)系統(tǒng) |
顯示及操作介面 | LCD&鍵盤&光學(xué)滑鼠 |
電源 | AC220V單相 / 10A / 2.5KW |
機(jī)器重量 | 約800Kg |
氣源 | >0.6MPa(6bar) |