納米模塊 NH
隨著納米科技和薄膜技術的發(fā)展（太陽能電池，cvd、pvd、dlc、MEMS等），納米尺度的機械性能測試趨向標準化。納米機械性能測試在傳統(tǒng)測試基礎上有了很大改進，通過設計高寬徑比的探針測試更深更窄的溝槽，還實現(xiàn)低載荷，高空間分辨以及原位載荷-位移數(shù)據(jù)測量。
納米壓痕 — 參照ISO14577標準，選取單點/多點壓痕來測量薄膜、涂層和塊體材料的硬度、楊氏模量、張力、應力（馮米塞斯應力，von Mises stresses）和接觸強度/剛度等。
納米劃痕 – 在接觸模式下，可根據(jù)用戶自定義不斷增加載荷，檢測薄膜、涂層和塊體材料的劃痕硬度和劃痕黏附力。
動態(tài)壓痕 - 通過探針動態(tài)測量方法，檢測隨深度變化的損失模量以及存儲模量。
微米模塊 MH
微米機械性能測試已經(jīng)被應用于檢測涂層和塊體材料的各種機械性能。微米機械性能測試儀勝于傳統(tǒng)測試方法，可以提供原位載荷-位移數(shù)據(jù)、應用例如聲學發(fā)射檢測、ECR、摩擦檢測等信號來獲得綜合機械性能信息。
儀器化微米壓痕檢測——參照ISO14577標準，在毫米尺度（應用超過2牛的載荷）以及微米尺度（低于2牛的載荷）下檢測涂層和塊體材料的硬度、楊氏模量、張力、應力（馮米塞斯應力，von Mises stresses）和接觸強度/剛度等。
傳統(tǒng)維氏硬度和努普硬度參照ASTM E384.99標準，測量材料的顯微硬度。
微米劃痕—在接觸的模式下，可根據(jù)用戶自定義不斷增加載荷，檢測薄膜、涂層和塊體材料的劃痕硬度和劃痕黏附力。
