FSM360是一臺全自動紫外線——可見光RAMan儀器,主要用與測量芯片應(yīng)力。
利用微米直徑光斑照射。
芯片會產(chǎn)生另外一個光束(Raman信號),Raman信號的頻率有別于原來的光源。
從Raman信號頻率我們可以測出樣本的應(yīng)力大小。
紫外線Raman主要用于薄膜或樣本表面的應(yīng)力測量。
可見光Raman主要用于多層薄膜或厚樣本的應(yīng)力測量。
FSM360是一臺全自動紫外線——可見光RAMan儀器,主要用與測量芯片應(yīng)力。
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