廢氣等離子光氧一體機，在電催化總的設計概念下，分三個即獨立又混成的激發(fā)系統(tǒng)：微波激發(fā)區(qū)、等離子激發(fā)區(qū)、極板激發(fā)區(qū)。每個激發(fā)區(qū)有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。 低溫等離子體激發(fā) 本工藝有40支至240支充有氣體的無極管組成的低溫等離子體激發(fā)區(qū)，低溫等離子體區(qū)是工藝的核心技術，   諸多機構室稱在常壓下實現(xiàn)低溫等離子體。從大量的試驗分析，常壓低溫等離子體要在工業(yè)中應用存在的困難仍舊很大，本工藝借助低氣壓的無極燈作為低溫等離子體的激發(fā)體，較大限度地在無極管區(qū)實現(xiàn)低溫等離子體區(qū)，由于低溫等離子體在能量躍遷過程中具有的能量平衡性，在粒子撞擊中失能極少，所以低溫等離子體作為原子激發(fā)是理想的一種能。

廢氣等離子光氧一體機是根據不同廢氣配有不同藥劑，采用濕法處理的方法來凈化多種有毒、廢氣的一種裝置。它是吸取了泡沫塔、噴淋塔、填料塔等凈化技術的精華而設計的，兼有除塵效果。

本裝置已成功地應用在：陶瓷廠噴霧干燥塔的尾氣凈化、玻璃窯后的尾氣凈化、各種蒸發(fā)量的燃煤、燃油鍋爐的尾氣凈化、線路板廠噴油車間的廢氣凈化、煉油廠污水循環(huán)水池的廢氣凈化及石油生產廢氣燃燒產生的尾氣凈化。該裝置已完成系列化產品的機械設計和針對不同廢氣種類、濃度的化學部分的配方，對含粉塵濃度較大的尾氣配有預處理裝置。該裝置系統(tǒng)阻力，較之同類型產品要節(jié)省20%以上的動力消耗，對配有引風機向地下煙道排放的廢氣，本裝置有臥式安裝的形式，則無須另配動力裝置。