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廣電計(jì)量檢測(cè)集團(tuán)股份有限公司

分子泵組應(yīng)用于低溫真空探針臺(tái)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱伯東企業(yè)(上海)有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地深圳市
  • 廠商性質(zhì)代理商
  • 更新時(shí)間2025/5/28 10:21:06
  • 訪問次數(shù)49
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伯東企業(yè)(上海)有限公司(德國(guó)Pfeiffer中國(guó)華東華南代理)www.hakuto-vacuum.cn,專業(yè)銷售及維修德國(guó)Pfeiffer氦質(zhì)譜檢漏儀及分子泵、旋片泵、羅茨泵、真空規(guī)管、質(zhì)譜儀等真空產(chǎn)品。維修技術(shù)力量雄厚,保證 100 % 擁有標(biāo)準(zhǔn)的德國(guó)Pfeiffer原廠測(cè)試設(shè)備及調(diào)整工具和德國(guó)Pfeiffer專業(yè)培訓(xùn)工程師,多年來致力于真空系統(tǒng)的安裝、調(diào)試、維修、拆機(jī)、保養(yǎng)等,具有優(yōu)良的專業(yè)技能和服務(wù)意識(shí),并獲得原廠*維修資質(zhì)證書。利用 Pfeiffer 進(jìn)口檢測(cè)設(shè)備對(duì)維修后的產(chǎn)品做*性能測(cè)試。

 

伯東企業(yè)(上海)有限公司(德國(guó)普發(fā)中國(guó)區(qū)總代理)是一家專業(yè)代理公司,專業(yè)代理德國(guó)Pfeiffer 真空產(chǎn)品。主要經(jīng)營(yíng)渦輪分子泵(分子泵 Hipace10-700 l/s系列、TMH/U、 TPH/U之分子泵 10-500 l/s系列、分子泵 1000-2000 l/s系列及全磁浮分子泵 magnetic turbo pump系列)、分子泵機(jī)組、分子泵附件、機(jī)械泵(單、雙級(jí)旋片泵、羅茨泵)、油泵、干泵(隔膜泵、Xtradry)、氦質(zhì)譜檢漏儀、質(zhì)譜儀(殘余氣體分析質(zhì)譜系列和常壓分析質(zhì)譜系列)、真空計(jì)、真空配件(連接零部件、密封件、法蘭、管件、波紋管、轉(zhuǎn)接頭)、真空閥門和分子泵*油(P3油、F4/F5油、D1油)等產(chǎn)品。

同時(shí),我公司作為德國(guó)普發(fā)在中國(guó)**Pfeiffer維修中心,在上海、深圳、中國(guó)臺(tái)灣、日本、泰國(guó)、香港等地均設(shè)有Pfeiffer 正式*維修服務(wù)網(wǎng)點(diǎn),保證 100 %德國(guó) Pfeiffer 原廠部件和受德國(guó)Pfeiffer專業(yè)培訓(xùn)的工程師,并用 Pfeiffer 進(jìn)口檢測(cè)*設(shè)備對(duì)維修后的產(chǎn)品做全方面的性能測(cè)試,為您提供從配件到維護(hù)合同的標(biāo)準(zhǔn)化服務(wù)體系。

我公司秉承較早、Z快、Z及時(shí)的基本原則,為客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和周到的服務(wù)。伯東公司愿意與世界各地的客戶聯(lián)手合作,共建一個(gè)誠(chéng)信、發(fā)展、共同進(jìn)步的良好環(huán)境。

 

德國(guó) Pfeiffer 真空泵,氦檢漏儀,分子泵,質(zhì)譜儀,真空規(guī)管,真空閥門及美國(guó)Brooks 旗下CTI Cropump 冷凝泵/低溫泵, Polycold 冷凍機(jī)和美國(guó)KRI 離子源,PLD鍍膜機(jī)
分子泵組應(yīng)用于低溫真空探針臺(tái)
分子泵組應(yīng)用于低溫真空探針臺(tái) 產(chǎn)品信息

Pfeiffer 分子泵組應(yīng)用于低溫真空探針臺(tái)
真空探針臺(tái)一般用于復(fù)雜, 高速精密器件進(jìn)行表面觀測(cè)以及各種性能測(cè)試的儀器, 通過測(cè)試可以保障產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本. 探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè), 光電行業(yè), 集成電路以及封裝的測(cè)試

為什么需要真空環(huán)境?
1. 真空探針臺(tái)通過搭配分子泵組, 配合真空吸附卡盤及真空吸附探針座的使用, 通過空氣壓縮, 固定樣品及探針座.
2. 由于晶圓在超低溫情況下進(jìn)行探測(cè), 水氣將會(huì)出現(xiàn)并且將會(huì)凍結(jié)晶圓. 水氣會(huì)影響測(cè)量, 導(dǎo)致測(cè)量失敗. 真空腔中的水氣需要通過真空泵排出.
3. 當(dāng)晶圓加熱超過 300攝氏度, 400攝氏度, 500攝氏度或者更高溫度時(shí), 會(huì)發(fā)生很強(qiáng)烈的氧化. 溫度越高, 越加大硅片表面的氧化, 氧化將使晶圓降低電學(xué)性, 物理性和機(jī)械性. 真空腔中的氧氣需要通過分子泵組來排出.

上海伯東渦輪分子泵組應(yīng)用于低溫真空探針臺(tái)客戶案例: 某企業(yè)通過上海伯東推薦采購德國(guó) Pfeiffer 經(jīng)濟(jì)型分子泵組 HiCube 80 Eco, 分子泵與隔膜泵結(jié)合, 整機(jī)設(shè)計(jì), 即插即用, 提供清潔, 低振動(dòng), 穩(wěn)定的高真空環(huán)境.
渦輪分子泵組
上海伯東 Pfeiffer 普發(fā)分子泵組 HiCube Eco 技術(shù)規(guī)格

泵組型號(hào)

進(jìn)氣法蘭

分子泵
型號(hào)

抽速
氮?dú)鈒/s

極限真空
hPa

前級(jí)泵型號(hào)

前級(jí)泵
抽速 m³/h

Hicube 80 Eco

DN 40 ISO-KF

HiPace 80

35

1X10-7

MVP 015-2

0.5

DN 63 CF-F

HiPace 80

67

1X10-8

MVP 015-2

1

DN 63 ISO-K

HiPace 80

67

1X10-7

MVP 015-2

1


Pfeiffer 渦輪分子泵組整體模塊化設(shè)計(jì), 內(nèi)部集成前級(jí)泵和分子泵, "即插即用", 抽速范圍 35 至 685 L/S, 極限真空 5X10-10 hPa, 提供經(jīng)濟(jì)型分子泵組 ECO, 標(biāo)準(zhǔn)型分子泵組 Classic 高性能渦輪分子泵組 Pro 滿足不同應(yīng)用, 推薦搭配 Pfeiffer 真空計(jì)共同使用.

鑒于客戶信息保密, 若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)信息或討論, 請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式
上海伯東: 葉女士 中國(guó)臺(tái)灣伯東: 王女士
T: +86-21-5046-3511 ext 109 T: +886-03-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-03-567-0049
M: +86 1391-883-7267 M: +886-939-653-958
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