高真空油擴(kuò)散泵機(jī)組是以高真空油擴(kuò)散泵為主泵的一套完整的抽氣系統(tǒng),機(jī)組可直接接入與機(jī)組相適的被抽容器,使被抽容器獲得高真空狀態(tài)。高真空油擴(kuò)散泵機(jī)組被廣泛的應(yīng)用于電子、冶金、原子能工程及空間模擬等領(lǐng)域。
主要性能參數(shù)
型號(hào) | 極限壓力Pa | 抽速L/S | 主泵加熱功率KW | 主機(jī)型號(hào) | 配用的擋板 | 配用的高真空閥(氣、電動(dòng)閥) | 配用的前級(jí)泵 | 進(jìn)氣口直徑D | D1 | N-∮1 | 中心高 尺寸 | ||
JK-200T | 5×10-4 | 600 | 1.8 | K-200T | SB-200 | GF-200 | GDD-J200 | GDQ-J200 | 2×-15 | 200 | 250 | 8-∮12 | 940 |
JK-300T | 1400 | 3 | K-300T | SB-300 | GF-300 | GDD-J300 | GDQ-J300 | 2×-30 | 300 | 350 | 8-∮14 | 1160 | |
JK-320TD | 1500 | 4 | K-320TD | 內(nèi)藏式 | GDD-J320 | GDQ-J320 | 2×-30 | 320 | 395 | 12-∮14 | 1340 | ||
JK-400T | 2600 | 4.5 | K-400T | SB-400 | GDD-J400 | GDQ-J400 | 2×-70 | 400 | 465 | 8-∮18 | 1500 | ||
JK-500TD | 3800 | 6.9 | K-500TD | 內(nèi)藏式 | GDD-J500 | GDQ-J500 | 2×-70 | 500 | 580 | 16-∮14 | 1700 | ||
JK-600T | 5600 | 8.4 | K-600T | SB-600 | GDD-J600 | GDQ-J600 | 2H-70 | 600 | 670 | 12-∮21 | 2030 | ||
JK-800 | 7560 | 8.4 | K-800 | SB-800 | GDQ-J800 | 2H-70(2臺(tái)) | 800 | 880 | 20-∮21 | 2280 | |||
JK-800TD | 8600 | 15 | K-800TD | 內(nèi)藏式 | GDQ-J800 | 2H-150(2臺(tái)) | 800 | 880 | 20-∮21 | 2414 | |||
JK-1000TD | 13000 | 24 | K-1000TD | 內(nèi)藏式 | GDQ-J1000 | 2H-150(2臺(tái)) | 1000 | 1090 | 24-∮23 | 2915 | |||
JK-1200 | 16000 | 24 | K-1200 | SB-1200 | GDQ-J1200 | 2H-150(2臺(tái)) | 1200 | 1310 | 28-∮25 | 3582 |
泵實(shí)際抽速-進(jìn)氣壓力曲線
