潔凈車間及產(chǎn)線氣態(tài)分子污染物（AMC）專業(yè)化檢測服務，輔助企業(yè)對潔凈室環(huán)境及相關(guān)位置的微量雜質(zhì)進行監(jiān)測和控制，提高產(chǎn)品良率，保障產(chǎn)品質(zhì)量。
適用范圍：
潔凈室氣態(tài)分子污染物（AMC）
隨著半導體、芯片、晶圓等高科技產(chǎn)品不斷向微型化發(fā)展，潔凈室環(huán)境面臨著的挑戰(zhàn)，在此背景下，AMC顯得尤為重要，針對超低濃度氣態(tài)化學污染物的檢測難題，NOA挪亞檢測提供專業(yè)的AMC檢測技術(shù)支持，以及覆蓋全流程的一站式潔凈室檢測解決方案。
檢測項目：
• SEMI F27
• MA（Molecular Acids）酸性分子污染物：氟化物、、氮氧化物、硫酸霧等
• MB（Molecular Bases）堿性分子污染物：NH3、AMINE、NMP、HMDS等
• MC（Molecular Condensable organic Compounds）可凝結(jié)的分子有機化合物：清洗、勻膠、去膠、刻蝕、顯影工序使用有機溶劑成分殘留。
• MD（Molecular Dopants）分子摻雜物：擴散、離子注入和CVD等工序產(chǎn)生的硅烷、磷烷、砷烷、(B,H,)等
• 揮發(fā)性有機物分析（VOC）
• 現(xiàn)場采樣
檢測儀器：
• 氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀（GC-MS）
• 氣象色譜儀GC
• 電感耦合等離子體質(zhì)譜儀(ICP-MS)
• 離子色譜儀IC
品牌資質(zhì)雙重保證
NOA作為國內(nèi)頭部檢測認證機構(gòu)，行業(yè)內(nèi)具有相當?shù)钠放朴绊懥托?，NOA獲得CMA,CNAS認證，確保其管理體系和技術(shù)能力符合要求。
設(shè)備保障，技術(shù)可靠
NOA電子材料和化學品測試中心配備高精度設(shè)備，并定期校準和維護，測試人員行業(yè)經(jīng)驗豐富，嚴格按照標準操作程序進行測試，確保測試數(shù)據(jù)的可靠性。
質(zhì)量持續(xù)控制，數(shù)據(jù)報告嚴格審核
NOA通過內(nèi)部質(zhì)量控制（如使用標準樣品）和外部能力驗證，持續(xù)監(jiān)控檢測質(zhì)量。測試數(shù)據(jù)需經(jīng)過多重審核，確保結(jié)果準確無誤。
重視客戶反饋，積極改進檢測流程，提升準確性。
