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廣電計(jì)量檢測(cè)集團(tuán)股份有限公司

SEM納米探針臺(tái)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱安徽澤攸科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地銅陵市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2025/7/9 10:45:16
  • 訪問次數(shù)21
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澤攸科技成立于2016年,擁有安徽銅陵、北京、上海和東莞四家分公司,是一家具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的精密儀器高科技公司。公司專注于掃描電鏡、原位測(cè)量系統(tǒng)、臺(tái)階儀、探針臺(tái)、電子束光刻機(jī)等精密設(shè)備的研究,國家在科學(xué)精密儀器領(lǐng)域的諸多空白。人才是企業(yè)的核心競(jìng)爭(zhēng)力和發(fā)展的驅(qū)動(dòng)力。澤攸科技于20世紀(jì)90年代便開啟電子顯微鏡及相關(guān)原位附件的研發(fā),已逐步打造成為科學(xué)精密儀器領(lǐng)域人才聚集地?,F(xiàn)有員工100多人,其中院士、專家團(tuán)隊(duì)20余人,擁有精通機(jī)械、光學(xué)、超高真空、電子技術(shù)、微納加工技術(shù)、軟件開發(fā)技術(shù)的專業(yè)團(tuán)隊(duì)。為解決行業(yè)內(nèi)“卡脖子”難題,企業(yè)全力培養(yǎng)人才,重視產(chǎn)學(xué)研用合作,并與十幾家高校及科研院所建立了長期合作機(jī)制,以應(yīng)用為導(dǎo)向,共同開展行業(yè)內(nèi)關(guān)鍵共性技術(shù)開發(fā)。雄厚的技術(shù)與人才實(shí)力,贏得了客戶的深厚信賴。在許智博士的帶領(lǐng)下,從項(xiàng)目建設(shè)、平臺(tái)搭建、產(chǎn)品創(chuàng)新抓起,公司實(shí)現(xiàn)快速發(fā)展,產(chǎn)量、銷售、利潤逐年大幅增長。承擔(dān)和參與了國家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃、國家重大科研裝備研制項(xiàng)目等多個(gè)重量級(jí)科研項(xiàng)目,如“低溫強(qiáng)磁場(chǎng)綜合物性測(cè)量?jī)x”項(xiàng)目和“高通量生物樣品真空傳遞裝置”項(xiàng)目的立項(xiàng),并獲得包括北京市科學(xué)技術(shù)一等獎(jiǎng)在內(nèi)的多次省部級(jí)獎(jiǎng)項(xiàng)。構(gòu)建了“產(chǎn)學(xué)研用”協(xié)同技術(shù)創(chuàng)新機(jī)制,多次實(shí)現(xiàn)國內(nèi)材料表征測(cè)量設(shè)備的“國產(chǎn)替代”,相關(guān)產(chǎn)品具有較好的國際聲譽(yù)、產(chǎn)品檢測(cè)數(shù)據(jù)被國際盛名期刊采納。桌面式掃描電子顯微鏡、大行程納米位移臺(tái)、臺(tái)階儀等產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)了國產(chǎn)化零的突破,等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)、掃描隧道顯微鏡系統(tǒng)等產(chǎn)品達(dá)到國內(nèi)外優(yōu)異水平。核心產(chǎn)品經(jīng)過眾多企業(yè)驗(yàn)證,已進(jìn)入大規(guī)模量產(chǎn)階段,現(xiàn)已得到數(shù)百個(gè)高質(zhì)量用戶的盛贊,遍布國內(nèi)27個(gè)省級(jí)行政區(qū),不僅覆蓋中國多個(gè)科學(xué)實(shí)驗(yàn)室,還遠(yuǎn)銷海外等發(fā)達(dá)國家,在業(yè)內(nèi)享有高度好評(píng)。經(jīng)過二十多年的技術(shù)積累,以及一支專業(yè)的研發(fā)與生產(chǎn)團(tuán)隊(duì),澤攸科技以自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的技術(shù)為核心,在半導(dǎo)體芯片加工和材料表征測(cè)量領(lǐng)域?qū)儆趪鴥?nèi)。關(guān)鍵半導(dǎo)體加工與材料表征測(cè)量?jī)x器設(shè)備實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化,關(guān)鍵之處就在于實(shí)現(xiàn)自主可控。未來,澤攸科技還將繼續(xù)堅(jiān)持“用精密量測(cè)賦能科技創(chuàng)新”的理念,以“科技指領(lǐng)”打破進(jìn)口納米科學(xué)儀器設(shè)備的壟斷,聚焦新材料、新能源、半導(dǎo)體、生物醫(yī)藥、基礎(chǔ)科研等前沿領(lǐng)域,實(shí)現(xiàn)自主研發(fā),打造集微納米加工、微納表征、微納操縱于一體的納米技術(shù)全產(chǎn)業(yè)鏈解決方案,加速國產(chǎn)科學(xué)科研儀器產(chǎn)業(yè)落地,助力國產(chǎn)科學(xué)儀器健康蓬勃發(fā)展。
臺(tái)階儀
SEM納米探針臺(tái)產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)了三維空間上的準(zhǔn)確定位, 它具有分辨率高,尺寸緊湊,行程大,操作簡(jiǎn)單,能在真空下使用等優(yōu)點(diǎn),可應(yīng)于SEM真空腔體內(nèi)完成各種納米精度運(yùn)動(dòng)操作。SEM納米探針臺(tái)產(chǎn)品使用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng),運(yùn)無需潤滑,百分真空兼容,并可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。運(yùn)動(dòng)分辨率達(dá)到納米級(jí)。步進(jìn)和掃描雙模式工作,在宏觀行程范圍內(nèi)達(dá)到亞納米分辨率的定位。三軸探針臺(tái)由三個(gè)單軸運(yùn)動(dòng)臺(tái)組合而成。一SEM腔體內(nèi)可安裝多個(gè)......
SEM納米探針臺(tái) 產(chǎn)品信息

SEM納米探針臺(tái)產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)了三維空間上的準(zhǔn)確定位, 它具有分辨率高,尺寸緊湊,行程大,操作簡(jiǎn)單,能在真空下使用等優(yōu)點(diǎn),可應(yīng)于SEM真空腔體內(nèi)完成各種納米精度運(yùn)動(dòng)操作。

SEM納米探針臺(tái)產(chǎn)品使用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng),運(yùn)無需潤滑,百分真空兼容,并可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。運(yùn)動(dòng)分辨率達(dá)到納米級(jí)。步進(jìn)和掃描雙模式工作,在宏觀行程范圍內(nèi)達(dá)到亞納米分辨率的定位。

三軸探針臺(tái)由三個(gè)單軸運(yùn)動(dòng)臺(tái)組合而成。一SEM腔體內(nèi)可安裝多個(gè)三軸探針臺(tái)。平上可安裝電學(xué)探針、光纖探針、納米鑷子、金剛石納米力壓頭、顯微注射器等各類操縱和測(cè)量頭,實(shí)現(xiàn)微納操縱和測(cè)量的目的。


主要參數(shù)

▲ 兼容性:適配多種鎢燈絲、場(chǎng)發(fā)射SEM,保證電鏡安全性

▲ 探針驅(qū)動(dòng)方式:PZT壓電陶瓷

▲ XYZ行程:XY軸行程≥±10mm,Z軸行程≥10mm

▲ 細(xì)調(diào)行程:3um

▲ 細(xì)調(diào)最小步長:≤1nm

▲ 控制模式:開環(huán)/閉環(huán)

▲ 探針數(shù)量:最多支持8探針

▲ 制冷系統(tǒng)(選配功能):熱臺(tái)200℃;冷臺(tái)-60℃(TEC);冷臺(tái)-170℃(液氮)


主要配置

壓電探針臺(tái)、壓電三軸位移控制器、PC+軟件(閉環(huán)選配)、壓電冷臺(tái)(選配)、手提箱、源表(選配)、制冷系統(tǒng)(選配)、定制適配電鏡法蘭、工具附件等


• 產(chǎn)品特點(diǎn)

結(jié)構(gòu)緊湊,高剛性

零間隙,高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng) 

壓電陶瓷位移平臺(tái)具有超長使用壽命

內(nèi)部根據(jù)需求可增加位置反饋 

應(yīng)用:納米材料操縱、納米器件電學(xué)光電等物性測(cè)量、生物細(xì)胞DNA操作等

適配SEM:日本電子、 日立、FEI、 TESCAN等


• 應(yīng)用案例

電容樣品測(cè)試

電容樣品測(cè)試

碳纖維測(cè)試

器件測(cè)試

薄層材料測(cè)試

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