PicoFemto掃描電鏡原位氣氛加熱環(huán)境測量系統(tǒng)，將MEMS氣氛環(huán)境微腔和加熱模塊集成到掃描電鏡樣品臺上，在掃描電鏡中制造可控的氣氛環(huán)境并且可以對實驗樣品原位加熱。該系統(tǒng)允許研究者在氣氛環(huán)境中原位、動態(tài)、高分辨地對樣品的形貌結(jié)構(gòu)和化學(xué)組分進(jìn)行綜合表征，大大拓展了掃描電鏡的功能與應(yīng)用領(lǐng)域。該產(chǎn)品可實現(xiàn)1 Bar & 800 ℃的觀測條件，使研究者可以在掃描電鏡中實時觀測催化反應(yīng)、氧化還原反應(yīng)、低維材料生長/合成以及各類腐蝕反應(yīng)，將您的掃描電鏡從一臺靜態(tài)成像工具升級為一套功能強(qiáng)大的納米實驗室。
• 性能指標(biāo)
氣體流動指標(biāo)：
△ 三通道混氣；
△ 氣壓范圍：0 - 1 Bar；
△ 氣壓準(zhǔn)確度：30 mBar；
△ 氣體流速： 0.01 - 0.4 ml/min；
△ 可通氣體：H2, N2, O2, He, Ar, CO, CO2, CxHy等；
△ 軟件控制。
掃描電鏡指標(biāo)：
△ 兼容指定類型電鏡；
△ 保證電鏡原有真空度；
△ MEMS反應(yīng)微腔指標(biāo)：
△ 高質(zhì)量氮化硅膜厚度30 nm；
△ 樣品漂移優(yōu)于0.7 nm/min。
熱學(xué)指標(biāo)：
△ 溫度范圍：室溫至800 ℃；
△ 溫度準(zhǔn)確度：優(yōu)于5%；
△ 溫度穩(wěn)定性：優(yōu)于±0.1 ℃；
△ 四電極加熱，帶溫度反饋；
△ 軟件控制。
