納米壓電旋轉(zhuǎn)位移臺(tái)RF-8382A,通過(guò)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng),具有定位精準(zhǔn),位置保持性好,自帶鎖緊,能360°無(wú)限旋轉(zhuǎn)等優(yōu)點(diǎn)。在增強(qiáng)位置反饋模塊后,可實(shí)現(xiàn)高精度及高分辨率的開(kāi)環(huán)/閉環(huán)控制,適用于大氣及真空環(huán)境下工作。
• 應(yīng)用案例
△ 電子顯微鏡原位納米探針臺(tái)
△ 半導(dǎo)體芯片檢測(cè)
△ 光刻機(jī)工件臺(tái)
△ 微生物操縱手
△ 光纖焊接
△ 超精密組裝
△ 精密檢測(cè)與測(cè)量
△ 高精度激光對(duì)焦