• 產(chǎn)品介紹
國產(chǎn)半自動(dòng)臺(tái)階儀JS100B/200B/300B,擁有高精度、高分解能力,搭配一體花崗巖結(jié)構(gòu),提供穩(wěn)定可靠的重復(fù)性測量。JS100B提供兩個(gè)彩色攝像頭對(duì)樣品和針尖同時(shí)成像,可無畸變的觀察樣品區(qū),方便定位特征區(qū)域,同時(shí)探針掃描時(shí)可實(shí)時(shí)觀察掃描區(qū)域。
• 特點(diǎn)
量測精確、功能豐富、一體式集成、模塊化設(shè)計(jì)、售后便捷、性價(jià)比
• 應(yīng)用范圍
▲ 刻蝕、沉積和薄膜等厚度測量
▲ 薄膜多晶硅等粗糙度、翹曲度等材料表面參數(shù)測量
▲ 各式薄膜等應(yīng)力測量
▲ 3D掃描成像
▲ 計(jì)劃任務(wù)和多點(diǎn)掃描
• 系統(tǒng)組成
▲ 一體式臺(tái)階儀
• 選配品
▲ 高度校準(zhǔn)標(biāo)樣
• 技術(shù)參數(shù)
• 軟件界面
• 掃描圖
18nm樣品
68um樣品