光刻膠涂布控溫冷水機組選型,價格,方案等與江蘇康士捷機械設(shè)備有限公司溝通,多案例供參考。
康士捷生產(chǎn)的工業(yè)控溫設(shè)備有高溫型(5℃~35℃)、中溫型(-5℃~-40℃)、低溫型(-40℃~-80℃)、超低溫型(-150℃~-80℃)、冷熱兩用型(-150℃~+300℃)等系列產(chǎn)品供貴司選用。制冷量大小都有,有防爆型,防腐型,撬裝式,變頻型等。接受非標(biāo)定做。溫度穩(wěn)定性±0.1℃等可選。
以下列出部分參數(shù),貴司參數(shù)溝通選型后確認(rèn)。
光刻膠涂布控溫冷水機組核心作用
溫度穩(wěn)定性:維持光刻膠涂布環(huán)境(如基板、噴頭、腔體)的恒溫(通常±0.1℃甚至更高精度),避免溫度波動導(dǎo)致膠厚不均或圖案缺陷。
粘度控制:光刻膠粘度對溫度敏感,控溫確保膠體流動性一致,保障涂布均勻性。
設(shè)備冷卻:防止涂布機、烘烤板等部件過熱,延長設(shè)備壽命。
光刻膠涂布控溫冷水機組關(guān)鍵性能要求
高精度控溫:需達(dá)到±0.1℃或更高(如±0.01℃),適應(yīng)納米級制程。
快速響應(yīng):動態(tài)調(diào)節(jié)能力,應(yīng)對工藝中的溫度突變需求。
流量與壓力穩(wěn)定:確保冷卻液流速均勻,避免壓力波動影響工藝。
耐腐蝕設(shè)計:部分光刻膠含化學(xué)溶劑,冷水機需防腐蝕材料(如不銹鋼管路)。
低振動/低噪音:避免振動干擾精密涂布過程。
光刻膠涂布控溫冷水機組選型注意事項
工藝匹配:根據(jù)光刻膠類型(如ArF、KrF、EUV)確定溫度范圍和精度。
系統(tǒng)兼容性:與涂布機、顯影機等設(shè)備的接口和控溫需求匹配。
節(jié)能性:變頻壓縮機、熱回收設(shè)計可降低運行成本。
水質(zhì)要求:高純度去離子水或防凍液,避免管道結(jié)垢。
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