激光驅(qū)動(dòng)光源 (LDLS) 是美國(guó) Energetiq Technology inc. 開(kāi)發(fā)的創(chuàng)新光源,該公司是濱松光子學(xué)株式會(huì)社的子公司。 Energetiq生產(chǎn)的光源具有高可靠性,高性能,高亮度,長(zhǎng)壽命等特點(diǎn)。其產(chǎn)品具有很寬的光譜范圍,譜線包括軟遠(yuǎn)紫外線(EUV),深紫外線(DUV),并覆蓋從可見(jiàn)光到紅外光區(qū)(IR),波長(zhǎng)范圍從170nm到2100nm以上。Energetiq的光源結(jié)構(gòu)緊湊,使用方便,性價(jià)比高的特點(diǎn),寬譜線并帶光纖耦合輸出。
產(chǎn)品介紹
EQ-400-RH-QZ-S 是我們 LDLS 系列中輸出功率zui高的型號(hào)。燈頭和控制器需要強(qiáng)制水制冷以確保穩(wěn)定運(yùn)行。
激光驅(qū)動(dòng)光源特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì):
連續(xù)激光等離子體提供高輻射照度
超高亮度,覆蓋波段范圍170 nm 至 2500 nm
無(wú)需復(fù)合燈源(可替代氘燈/ 鎢燈/氙弧光燈),簡(jiǎn)化光學(xué)系統(tǒng)
優(yōu)異的空間穩(wěn)定性,適于重復(fù)測(cè)量
使用壽壽命長(zhǎng): 10000小時(shí)
優(yōu)異的短時(shí)和長(zhǎng)期功率穩(wěn)定性,適于重復(fù)測(cè)量
無(wú)電極工作,更低維護(hù)成本
更高的功率密度
產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品應(yīng)用
光學(xué)元件測(cè)試和校準(zhǔn)應(yīng)用
高性能光譜
單色儀光源
半導(dǎo)體計(jì)量與檢測(cè)
材料特性分析
薄膜量測(cè)
缺陷檢測(cè)
PEEM
其他需要長(zhǎng)壽命燈的應(yīng)用