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行業(yè)產(chǎn)品

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鄭州科佳電爐有限公司


科研型擴(kuò)散氧化爐

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產(chǎn)品型號KJ-T1300-LZ-10KS

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

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更新時(shí)間:2022-09-01 16:42:47瀏覽次數(shù):135次

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品特點(diǎn):1、可滿足多晶硅、氮化硅、擴(kuò)散、氧化、退火等工藝2、采用高可靠性工控機(jī)+PLC模式,對爐溫、進(jìn)退舟、氣體流量、閥門進(jìn)行全自動(dòng)控制,實(shí)現(xiàn)全部工藝過程自動(dòng)化

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品特點(diǎn):
1、可滿足多晶硅、氮化硅、擴(kuò)散、氧化、退火等工藝
2、采用高可靠性工控機(jī)+PLC模式,對爐溫、進(jìn)退舟、氣體流量、閥門進(jìn)行全自動(dòng)控制,實(shí)現(xiàn)全部工藝過程自動(dòng)化;
3、具有友好的人機(jī)界面,用戶可以方便地修改工藝控制參數(shù),并可隨時(shí)顯示各種工藝狀態(tài);
4、具有多種工藝管路,可供用戶方便選擇;
5、具有強(qiáng)大的軟件功能,配有故障自診斷軟件,可大大節(jié)省維修時(shí)間;
6、恒溫區(qū)自動(dòng)調(diào)整,串級控制,可準(zhǔn)確控制反應(yīng)管的實(shí)際工藝溫度;
7、具有超溫、斷偶、熱偶短路、工藝氣體流量偏差報(bào)警和保護(hù)功能; 
8、可根據(jù)用戶要求定制產(chǎn)品。
 
應(yīng)用范圍:
    本設(shè)備為科研型擴(kuò)散氧化爐,適用于企業(yè)研發(fā)、大學(xué)及科研院所的科研與教學(xué)??蓾M足多晶硅、氮化硅、擴(kuò)散、氧化、退火等工藝。
 
產(chǎn)品參數(shù):

 

產(chǎn)品名稱科研型擴(kuò)散氧化爐
產(chǎn)品型號KJ-T1300-LZ-10KS
工作溫度1300℃
應(yīng)用晶片尺寸 2~8英寸圓片
可配工藝管數(shù)量1~2管/臺(tái)
恒溫區(qū)長度300~600mm
恒溫區(qū)精度≤±0.5℃
溫度穩(wěn)定性≤±0.5℃/24h
溫度斜變能力升溫速率10℃/min,降溫速率5℃/min
預(yù)警具有超溫、斷偶、熱偶短路、工藝氣體流量偏差報(bào)警和保護(hù)功能
更多規(guī)格可根據(jù)要求來定制

 

 

售后服務(wù)

 

 1、我公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)(易損件除外),在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障,均予以免費(fèi)維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
 2、在設(shè)備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設(shè)備正常運(yùn)行。
 3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡單故障排除維修培訓(xùn)。
 4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
 5、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù),包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等)。
 6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證。

 

 


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