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鄭州科佳電爐有限公司


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石墨稀、碳納米管材料CVD設(shè)備

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產(chǎn)品型號(hào)KJ-T1050-CVD-LZ

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地

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更新時(shí)間:2022-09-01 16:44:00瀏覽次數(shù):170次

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹:KJ-T1050-CVD-LZ型石墨稀、碳納米管材料CVD設(shè)備由管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)+水冷系統(tǒng)組成,溫度可以達(dá)到1050度,可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等,極限真空可以達(dá)到10-3Pa,供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì)或浮子流量計(jì),混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹:
    KJ-T1050-CVD-LZ型石墨稀、碳納米管材料CVD設(shè)備由管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)+水冷系統(tǒng)組成 ,溫度可以達(dá)到1050度,可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等,極限真空可以達(dá)到10-3Pa,供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì)或浮子流量計(jì),混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。
管式爐采用摻鉬合金加熱絲為加熱元件,采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和宇電控溫儀表,能進(jìn)行30段程序控溫,移相觸發(fā)、可控硅控制,爐膛采用日本進(jìn)口氧化鋁多晶纖維材料,具有溫場均衡、表面溫度低、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)。
軟件控制系統(tǒng):該爐配有通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個(gè)參數(shù),并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況,爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會(huì)實(shí)時(shí)繪出,并能把每個(gè)時(shí)刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來,隨時(shí)可以調(diào)出。
 
應(yīng)用范圍:
    該設(shè)備主要用于石墨稀、納米材料工藝涂層、多晶硅、碳化硅、擴(kuò)散、氧化、退火等工藝。
   
參數(shù)詳情:

 

產(chǎn)品名稱石墨稀、碳納米管材料CVD設(shè)備
產(chǎn)品型號(hào)KJ-T1050-CVD-LZ
爐型結(jié)構(gòu)臥式、單管或多管系統(tǒng)自動(dòng)控制
適應(yīng)晶片尺寸50--200mm
取片方式自動(dòng)懸臂石英推拉舟,配合手動(dòng)取、放片
溫度1050℃
極限真空度優(yōu)于1Pa
溫度穩(wěn)定性400℃~850℃≦+-0.5℃/24h
抽速抽限真空時(shí)間15min左右
供電電源380V 50Hz 三相五線
選配冷卻水:2~4KGF/c㎡,8L/min
更多規(guī)格可根據(jù)需求定制

 

 

售后服務(wù)

 

 1、我公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)(易損件除外),在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障,均予以免費(fèi)維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
 2、在設(shè)備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設(shè)備正常運(yùn)行。
 3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡單故障排除維修培訓(xùn)。
 4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
 5、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù),包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等)。
 6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證。

 

 


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