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行業(yè)產(chǎn)品

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鄭州科佳電爐有限公司


雙爐體CVD設(shè)備

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號KJ-T1200-W2

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地

聯(lián)系方式:陳科查看聯(lián)系方式

更新時間:2022-09-01 19:49:38瀏覽次數(shù):230次

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹:該雙爐體CVD系統(tǒng)為定制款,適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹:
    該雙爐體CVD系統(tǒng)為定制款,適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。

產(chǎn)品特點(diǎn):
1、控制電路選用模糊PID程控技術(shù),該技術(shù)控溫精度高,熱慣性小,溫度不過沖,性能可靠,操作簡單。
2、氣路快速連接法蘭結(jié)構(gòu)采用本公司的知識產(chǎn)權(quán)設(shè)計,提高操作便捷性。
3、中真空系統(tǒng)具有真空度上下限自動控制功能,高真空系統(tǒng)采用高壓強(qiáng),耐沖擊分子泵
 防止意外漏氣造成分子泵損壞,延長系統(tǒng)使用壽命。

參數(shù)詳情:
 

產(chǎn)品型號KJ-T1200-W2
管式爐部分
爐體結(jié)構(gòu)雙層殼體結(jié)構(gòu),配有冷風(fēng)系統(tǒng)自動降溫爐殼溫度不超過45℃
爐膛材質(zhì)*真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡
溫度1200℃
使用溫度≤1100℃
升溫速度推薦≤10℃/min,升溫速度20℃/min
爐管材料石英管
爐管尺寸 OD:50mm*ID:44mm* 長1400mm
管子中間部位開15mm,有個堵塞可堵上
加熱區(qū)長度200mm+200mm(雙爐體)
爐膛開口每個爐膛對應(yīng)開寬10mm*長80mm的孔,并可封堵
法蘭不銹鋼密封法蘭,拆卸方便,法蘭上裝有精密針閥
溫控系統(tǒng)溫度控制系統(tǒng)采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù),具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能,并可編制30段升降溫程序;
1、采用PID方式調(diào)節(jié)控溫,可設(shè)置30段升降溫程序
2、控溫精度±1ºC 
3、具有過溫保護(hù)、斷偶保護(hù)
4、儀表具有溫度自整定的功能
加熱元件合金電阻絲
測溫元件2支K型熱電偶分別獨(dú)立控溫
工作電源AC220V,50Hz
額定功率4KW
進(jìn)出氣口法蘭上含有進(jìn)出氣口和精密針閥
氣路系統(tǒng)部分
質(zhì)量流量計二路精密質(zhì)量流量計:數(shù)字顯示、氣體流量自動控制。
MFC1 N2 范圍: 0-1000 sccm
MFC2 CO2范圍: 0-1000 sccm
氣路:2路
流量精度: 0.2%
進(jìn)氣和出氣接口: 1/4" 卡套
每路氣路都有一個獨(dú)立的不銹鋼針閥控制。
通過控制面板上的旋鈕來調(diào)節(jié)氣體流量。
標(biāo)準(zhǔn)配置主機(jī)1臺,流量計1套、密封法蘭1對,石英管1支,密封圈4個,爐堵2個,坩堝鉤1把,高溫手套1副、拆卸扳手2把、說明書1份、合格證保修卡1份

 

 

 

 

售后服務(wù)

 

 1、我公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)(易損件除外),在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障,均予以免費(fèi)維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
 2、在設(shè)備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設(shè)備正常運(yùn)行。
 3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡單故障排除維修培訓(xùn)。
 4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
 5、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù),包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等)。
 6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證。

 

 


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