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行業(yè)產(chǎn)品

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鄭州科佳電爐有限公司


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等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號(hào)KJ-PECVD-D1

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地

聯(lián)系方式:陳科查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間:2022-09-01 19:53:03瀏覽次數(shù):238次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品介紹:等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)技術(shù)是借助于輝光放電(等離子體)使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng),從而實(shí)現(xiàn)薄膜技術(shù)生長(zhǎng)的一種系的制備技術(shù)

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹:
    等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)技術(shù)是借助于輝光放電(等離子體)使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng),從而實(shí)現(xiàn)薄膜技術(shù)生長(zhǎng)的一種系的制備技術(shù)。我公司依據(jù)實(shí)驗(yàn)要求設(shè)計(jì)制作該款設(shè)備以適應(yīng)各類薄膜研究的需要。

主要功能和特點(diǎn):
1、采用專業(yè)加熱元件,爐膛保溫材料采用多晶纖維材料,保溫性能好,耐用,拉伸強(qiáng)度高,無(wú)雜球,純度高,節(jié)能效果明顯優(yōu)于國(guó)內(nèi)纖維材料。
2、整個(gè)爐體采用雙層內(nèi)膽式結(jié)構(gòu),中間有氣隙隔離,即使?fàn)t膛溫度達(dá)到點(diǎn),爐體表面仍然可以安全觸摸無(wú)滾燙感覺(jué)。
3、爐膛采用節(jié)能材料制作,整機(jī)能耗僅僅只有同等傳統(tǒng)電爐的1/3,節(jié)能環(huán)保。
4、超溫報(bào)警并斷電,漏電保護(hù),操作安全可靠具有多重防護(hù)功能。
5、PECVD管式爐系統(tǒng)由:射頻電源,管式爐加熱區(qū)系統(tǒng),質(zhì)子流量計(jì)供氣系統(tǒng),真空系統(tǒng),氣體定量系 統(tǒng)組成。

產(chǎn)品參數(shù):
 

產(chǎn)品名稱PECVD
 
產(chǎn)品型號(hào)KJ-PECVD
500W 射頻電源
匹配功率范圍0-500W+1%可調(diào)
工作頻率13.56MHZ +- 0.005%
反射功率200W
匹配方式自動(dòng)
輸出接口UHF或N型或7/16(L29)
冷卻強(qiáng)制風(fēng)冷
電壓頻率Contrmodel220V 50Hz
匹配阻抗范圍Matching impedance range實(shí)部0-80Ω 虛部-j200~+j200(可根據(jù)負(fù)載調(diào)節(jié)阻抗)
Real part 0-80Ω imaginary part -j200~ +j200
(can be adjusted according to load impedance)
管式加熱系統(tǒng) 
滑道帶滑道,可手動(dòng)滑動(dòng)爐膛,實(shí)現(xiàn)快速升溫或冷卻功能
加熱區(qū)長(zhǎng)度300mm
爐管尺寸60mm x1600mm 外徑x長(zhǎng)
爐管材質(zhì)高純石英管  (SiO2 ≥ 99.99%)
工作溫度≤1100℃
溫控系統(tǒng)智能化30段PID微電腦可編程自動(dòng)控制
溫控精度±1℃(具有超溫及斷偶報(bào)警功能)
加熱速率建議0~10℃/min
加熱元件電阻絲
額定電壓單相220V 50Hz
可通氣體氮?dú)?、氬氣等惰性氣體
測(cè)溫元件熱電偶測(cè)溫
殼體結(jié)構(gòu)雙層殼體結(jié)構(gòu)帶風(fēng)冷系統(tǒng)
真空法蘭法蘭一端帶1/4”卡套接頭進(jìn)氣口,60轉(zhuǎn)KF50快裝法蘭。另一端帶控壓閥,氣動(dòng)泄壓閥和放氣閥。
供氣系統(tǒng)四路精密質(zhì)子流量計(jì):
測(cè)量精度:±1.5% F.S.
流量范圍:  0~200 sccm(含10%甲烷的氬氣)
流量范圍:  0~200 sccm(含10%甲烷的氬氣)
流量范圍:  0~200 sccm(氬氣)
流量范圍:  0~500 sccm(含10%甲烷的氬氣)
通過(guò)觸屏來(lái)調(diào)節(jié)氣體流量
 
真空系統(tǒng)旋片泵,真空度在空爐冷態(tài)可達(dá)10pa,
真空計(jì):進(jìn)口數(shù)顯真空計(jì)實(shí)時(shí)顯示真空度,精度高。
控壓系統(tǒng)控壓范圍 -20kpa 到 20kpa (也可按客戶要求設(shè)計(jì))
自動(dòng)化控制
15”觸摸屏
觸摸屏界面集成控制爐子,真空泵,質(zhì)量流量計(jì)以及射頻電源。爐子部分需要先設(shè)好溫度時(shí)間曲線。集成控制部分可以控制溫度曲線的啟停,真空度,氣體流量,射頻功率和射頻啟停,泄壓閥等。
標(biāo)準(zhǔn)配件數(shù)顯真空計(jì)2個(gè),石英爐塞1對(duì),高密封法蘭1對(duì),氟膠密封圈2對(duì),高溫坩堝鉤1把,拆卸法蘭六角扳手1把,保修卡說(shuō)明書1份
備注法蘭,質(zhì)量流量計(jì),閥門,管路等用316不銹鋼材質(zhì)

 

 

售后服務(wù)

 

 1、我公司對(duì)所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)(易損件除外),在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障,均予以免費(fèi)維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
 2、在設(shè)備使用過(guò)程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設(shè)備正常運(yùn)行。
 3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡(jiǎn)單故障排除維修培訓(xùn)。
 4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
 5、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù),包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全(用戶手冊(cè)、保修手冊(cè)、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等)。
 6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證。

 

 


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