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閱讀:652發(fā)布時(shí)間:2014-2-21
壓敏部件的構(gòu)造。它以設(shè)置在高壓一側(cè)及低壓一側(cè)的兩塊密封膜片,構(gòu)成EI型半導(dǎo)體壓力傳感器的兩個(gè)液腔。由高壓一側(cè)及低壓一側(cè)引進(jìn)的過程壓力作用在密封膜片上,通過封入的液體,分別傳送到半導(dǎo)體壓力傳感器的兩面,其壓力被變換成電信號(hào)后輸送給放大電路。
研制此種壓敏部件的指導(dǎo)思想,是著眼于變送器所需要的基本條件,并在充分考慮到提高精度、提高可靠性、擴(kuò)大適應(yīng)性、強(qiáng)化可維護(hù)性的基礎(chǔ)上開發(fā)而成的,具有如下優(yōu)點(diǎn):
(1)長(zhǎng)期穩(wěn)定性好
壓敏部件為全焊接結(jié)構(gòu),并且除硅油外,壓腔內(nèi)再也沒有別的有機(jī)物質(zhì)。因此,液溫變化達(dá)一20~80%的范圍時(shí),壓腔內(nèi)通常也能保持潔凈狀態(tài)。并且,即使將其置于嚴(yán)酷、惡劣的環(huán)境狀態(tài)下工作,也具有長(zhǎng)期穩(wěn)定陛。
(2)溫度影響小
壓敏部件為左右對(duì)稱的兩個(gè)液腔結(jié)構(gòu),腔內(nèi)注入等量的硅油。因此,就能確保傳感器不受溫度變化的影響,所以溫度特性良好。此外,溫度補(bǔ)償用熱敏電半導(dǎo)體壓力傳感器阻是以厚膜方式形成在傳感器的近旁,兩者之間不存在溫差,并且還有利于提高溫度補(bǔ)償電路的瞬態(tài)響應(yīng)特性。
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