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半導體FAB廠純水站升級紫外線TOC降解系統(tǒng)

半導體FAB廠純水站升級紫外線TOC降解系統(tǒng)

一、紫外線 TOC 降解系統(tǒng)的工作原理 1-5-3-6-9-1-8-7--10-6

紫外線 TOC 降解系統(tǒng)主要利用 185nm 波長的紫外線來實現(xiàn)對水中有機物的降解。當 185nm 紫外線照射到水中時，首先與水分子發(fā)生作用。高能量的紫外線光子能夠打斷水分子的化學鍵，促使水發(fā)生均裂反應(yīng)，產(chǎn)生羥基自由基（?OH）、氫原子（H?）和水合電子（eaq）等活性中間體。這些活性中間體具有的氧化性和反應(yīng)活性。水中的有機物（TOC）遇到這些活性中間體后，會發(fā)生親電、親核或電子轉(zhuǎn)移反應(yīng)。在一系列復(fù)雜的化學反應(yīng)過程中，有機物分子的化學鍵被逐步打斷，結(jié)構(gòu)被破壞，最終被氧化分解為二氧化碳（CO?）和水（H?O），從而實現(xiàn)了 TOC 的高效降解，大幅降低超純水中的有機物含量，滿足半導體制造對水質(zhì)的嚴苛要求。

二、升級紫外線 TOC 降解系統(tǒng)的優(yōu)勢

1. 高效降解：能快速有效地將超純水中的有機物分解，可使 TOC 含量降低至 ppb 級別甚至更低，顯著提升超純水的純度，極大減少因 TOC 導致的芯片制造缺陷，提高芯片良率。

2. 環(huán)保無污染：在處理過程中，僅利用紫外線和水的反應(yīng)來降解有機物，無需添加任何化學藥劑，既不會引入新的雜質(zhì)污染水質(zhì)，也不會產(chǎn)生化學殘留對環(huán)境造成危害，符合半導體行業(yè)綠色生產(chǎn)的理念。

3. 穩(wěn)定性強：系統(tǒng)結(jié)構(gòu)相對簡單，關(guān)鍵部件如紫外線燈管等技術(shù)成熟，運行穩(wěn)定性高。通過合理的設(shè)備選型和維護計劃，可確保長期穩(wěn)定運行，減少設(shè)備故障對生產(chǎn)的影響，保障純水站持續(xù)供應(yīng)高質(zhì)量超純水。

4. 適配性佳：紫外線 TOC 降解系統(tǒng)可以靈活地與純水站現(xiàn)有的預(yù)處理、反滲透、離子交換等工藝模塊相結(jié)合，形成協(xié)同處理效果。例如，在反滲透前使用紫外線對原水進行預(yù)處理，可降低有機物對反滲透膜的污染風險，延長膜的使用壽命；在離子交換后進一步降解殘留的有機物，確保最終出水的 TOC 達到極低水平。同時，該系統(tǒng)可根據(jù)純水站的實際流量需求和水質(zhì)情況進行模塊化設(shè)計和配置，方便系統(tǒng)的擴容和升級。