平行平晶
簡(jiǎn)介
具有兩個(gè)（或個(gè)）光學(xué)測(cè)量平面的正圓柱形或長(zhǎng)方形的量規(guī)。光學(xué)測(cè)量平面是表面粗糙度數(shù)值和平面度誤差都極小的玻璃平面，它能夠產(chǎn)生光波干涉條紋（見(jiàn)激光測(cè)長(zhǎng)技術(shù)）。平晶有平面平晶和平行平晶兩種。平面平晶用于測(cè)量高光潔表面的平面度誤差，為用平面平晶檢驗(yàn)量塊測(cè)量面的平面度誤差。平行平晶的兩個(gè)光學(xué)測(cè)量平面是相互平行的，用于測(cè)量?jī)筛吖鉂嵄砻娴钠叫卸日`差，例如千分尺兩測(cè)量面的平行度誤差.平晶用光學(xué)玻璃或石英玻璃制造。圓柱形平面平晶的直徑通常為 45～150毫米。其光學(xué)測(cè)量平面的平面度誤差為:1級(jí)精度的為0.03～0.05微米；2級(jí)精度的為0.1微米。常見(jiàn)的長(zhǎng)方形平面平晶的有效長(zhǎng)度般為200毫米。
平行平晶：是以光波干涉原理為基礎(chǔ)，利用平晶的測(cè)量面與試件的被測(cè)量面之間所出現(xiàn)的干涉條紋來(lái)測(cè)量被測(cè)量面的誤差。平行平晶據(jù)有高精度的平面性和平行性。
具體規(guī)格：
每組平行平晶共四塊，分四個(gè)尺寸系列組
測(cè)量面上平面度偏差： <0.1μm
平面度局部偏差： >0.03μm
測(cè)量面平行度誤差： 組Ⅰ系列允差值：0.06μm
組Ⅱ、Ⅲ系列允差值：0.08μm
組Ⅳ系列允差值：0.1μm
測(cè)量面上平面度偏差： <0.1μm
平面度局部偏差： >0.03μm
測(cè)量面平行度誤差： 組Ⅰ系列允差值：0.06μm
組Ⅱ、Ⅲ系列允差值：0.08μm
組Ⅳ系列允差值：0.1μm
組Ⅰ | 平行平晶 | 0－25mm | 4塊/組 |
組Ⅱ | 平行平晶 | 25－50mm | 4塊/組 |
組Ⅲ | 平行平晶 | 50－75mm | 4塊/組 |
組Ⅳ | |||
| 相關(guān)產(chǎn)品： |
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