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不是所有的勻膠機(jī)都叫旋涂儀的!

閱讀:1237發(fā)布時間:2009-4-9

It’s not only Spin Coater, it’s Spin Processor!

 

――勻膠機(jī)顧名思義,一種可以“讓膠液均勻涂敷的機(jī)器”。MYCRO的MSC-650S所有數(shù)據(jù)結(jié)果都可以通過電腦輸出并予以保存。完成從單純旋轉(zhuǎn)機(jī)器到旋涂儀器的升級。

 

 

勻膠機(jī)是一種常見用于材料薄膜制備工藝的實驗室設(shè)備,它的原理相對比較簡單,利用電機(jī)高速旋轉(zhuǎn)時所產(chǎn)生的離心力使得試液或者膠液均勻地涂敷在基底材料的表面,顧名思義,一種可以“讓膠液均勻涂敷的機(jī)器”。

 

勻膠機(jī)有很多稱謂,勻膠臺,旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī),旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)或者旋轉(zhuǎn)涂敷機(jī)等等,它的英文是 Spin Coater(旋轉(zhuǎn)涂膜的意思)。

 

勻膠機(jī)既然是科研開發(fā)上制備薄膜材料*的方法之一,使用者對于該設(shè)備zui大的期待就在于其能夠“均勻”地涂敷試液或者膠液。通常我們會用均一性和可重復(fù)性來衡量薄膜材料制備的好壞。

 

國內(nèi)外對于這種勻膠旋涂設(shè)備的發(fā)展呈現(xiàn)出很大的差距。中國先開展勻膠機(jī)研制的單位是中科院微電子所,推出的KW -4A型號的勻膠機(jī),具有低速起步和高速旋轉(zhuǎn)兩個單位。

 

國外的高性能勻膠機(jī)zui早則集中在美國和德國。后來隨著半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展,日韓等國家也開發(fā)出性價比較高的勻膠機(jī)器。

 

日韓等國隨著在半導(dǎo)體制程,LCD,TFT顯示材料的研發(fā)制造等領(lǐng)域的發(fā)展占據(jù)先機(jī),所開發(fā)的產(chǎn)品基本上集中于半導(dǎo)體濕制程系列工藝中的自動化控制系統(tǒng),由于涉及到與其它工序的自動化集成的趨勢,故產(chǎn)品價格高得也令人咂舌。目前美德諸多公司也放棄利潤低下的單獨功能的勻膠產(chǎn)品發(fā)展,全部集中于半導(dǎo)體整體工藝的解決方案提供。

 

MYCRO美國產(chǎn)的勻膠設(shè)備MSC-650S系列,除了對于轉(zhuǎn)速的精密控制以外(轉(zhuǎn)速范圍50~12000轉(zhuǎn)/分,分辨率小于0.5轉(zhuǎn)/分,可重復(fù)性小于±0.5轉(zhuǎn)/分,由美國NIST工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證,無需再校準(zhǔn),加速度可達(dá)80000RPM/S,zui低則可達(dá)1RPM/S),加速時間可調(diào)范圍1秒至99分59.9秒,zui小增加度0.1秒。

 

MYCROMSC-650S勻膠機(jī)還可以通過與電腦鏈接,以及隨機(jī)附帶的SPIN分析軟件,對于每次實驗結(jié)果進(jìn)行分析調(diào)試,并挑選出*的制備過程。所有數(shù)據(jù)結(jié)果都可以通過電腦輸出并予以保存。完成從單純旋轉(zhuǎn)機(jī)器到旋涂儀器的升級。


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