勻膠機(jī)（spin coater）的工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上，勻膠機(jī)常用于各種溶膠凝膠（Sol-Gel）實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。

詳細(xì)介紹

1、 SPIN勻膠機(jī)POLOS450勻膠機(jī)工作原理：

2、SPIN勻膠機(jī)POLOS勻膠機(jī)型號(hào)及技術(shù)參數(shù)如下：

型號(hào)	SPIN150i	SPIN200i	POLOS300	POLOS450	POLOS600
基片范圍	直徑160mm or 4?方片	直徑260mm or 6?方片	直徑360mm or 8?方片	直徑460mm or 350mm方片	直徑600mm or 430mm方片
程序段數(shù)	無(wú)限制	無(wú)限制	無(wú)限制	無(wú)限制	30個(gè)程序
操作步數(shù)	無(wú)限制	無(wú)限制	無(wú)限制	無(wú)限制	90個(gè)步驟
旋轉(zhuǎn)速度	0-12,000 rpm ±1rpm steps	0-12,000 rpm ±1rpm steps	0-12,000 rpm ±1rpm steps	0-1500rpm ±1rpm steps	0-1,500 rpm ±1rpm steps
旋轉(zhuǎn)精度	±0.1 rpm	±0.1 rpm	±0.1 rpm	±0.1 rpm	±0.1 rpm
旋轉(zhuǎn)方向	順時(shí)針、逆時(shí)針、交換擺	順時(shí)針、逆時(shí)針、交換擺	順時(shí)針、逆時(shí)針、交換擺	順時(shí)針、逆時(shí)針、交換擺	順時(shí)針、逆時(shí)針
加速度	30,000 rpm/sec	30,000 rpm/sec	30,000 rpm/sec	≤1500rpm時(shí)取決于負(fù)載	500 rpm/sec
旋轉(zhuǎn)時(shí)間	無(wú)限制*,± 0.1 seconds steps	無(wú)限制*,± 0.1 seconds steps	無(wú)限制*,± 0.1 seconds steps	無(wú)限制*,± 0.1 seconds steps	1 to 999 sec/step
腔體直徑	202 mm	302 mm	402 mm	502 mm	642mm
外形尺寸 (whd )	274 x 250 x 451 mm	380 x 307 x 559mm	430 x 310 x 650mm	795 x 638 x 922mm	800 x 1,450 x 1,650mm
觸屏控制	全彩觸屏控制	全彩觸屏控制	全彩觸屏控制	全彩觸屏控制	全彩觸屏控制
設(shè)備重量	14Kg	20Kg	32Kg	75Kg
電源參數(shù)	220V,50/60 Hz	220V,50/60 Hz	220V,50/60 Hz	220V,50/60 Hz	220V,50/60 Hz

三、勻膠機(jī)的特點(diǎn)：

1、該勻膠機(jī)采用*：
2、勻膠機(jī)采用NPP天然聚丙烯材質(zhì)構(gòu)造設(shè)計(jì)，這種材質(zhì)有很好的抗腐蝕性和抗化學(xué)物性，美觀大方；
3、勻膠機(jī)真空Chuck經(jīng)精密加工制成，具有良好的光潔度及平整度，保證晶圓片被很好地吸附，主軸采用進(jìn)口微型單列向心球軸承支撐，軸向有彈性墊及調(diào)整墊，可保障主軸具有較高的精度。
4、在安裝結(jié)構(gòu)上，采取了減振措施，保證了在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)噪音很低，保證涂覆表面均勻，保證通過(guò)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)涂覆厚度。
5、勻膠機(jī)腔體配備吹氮(N2)功能，或壓縮空氣、氮?dú)鈮毫赏ㄟ^(guò)調(diào)壓閥和節(jié)流閥實(shí)現(xiàn)調(diào)節(jié)，與配套真空泵一同使用。