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雙頻激光干涉儀（型號(hào)：ZLM700，德國耶拿爾公司生產(chǎn)，）

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  德國JENAer公司

雙頻激光干涉儀

導(dǎo)軌直線度檢測(cè)儀

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多通道溫度檢測(cè)儀

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上海貝丁漢工業(yè)自動(dòng)化設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

在德國，耶拿地區(qū)以生產(chǎn)蔡司光學(xué)產(chǎn)品而聞名

詳細(xì)介紹

在德國，耶拿地區(qū)以生產(chǎn)蔡司光學(xué)產(chǎn)品而聞名。位于該地區(qū)的耶拿爾（JENAer）公司生產(chǎn)的ZLM700雙頻激光干涉儀在同類產(chǎn)品中，由于具有的性能優(yōu)勢(shì)和簡(jiǎn)單的操作方法而久負(fù)盛名。由本公司代理，德國耶拿爾JENAer公司生產(chǎn)的雙頻激光干涉儀是真正意義上的雙頻干涉儀，并非單頻干涉原理。

產(chǎn)品功能
定位精度、重復(fù)定位精度、位移距離測(cè)量、速度加速度測(cè)量、線性度、直線度、垂直度、平面度、偏擺角、俯仰角、滾動(dòng)角、角速度、圓形軌跡、微振動(dòng)測(cè)量，還能夠測(cè)量數(shù)控機(jī)床回轉(zhuǎn)臺(tái)的定位精度和重復(fù)定位精度等，從而實(shí)現(xiàn)定位、校準(zhǔn)、控制和補(bǔ)償。ZLM700主要用于單軸系統(tǒng)的校準(zhǔn)和測(cè)量，廣泛應(yīng)用于高速動(dòng)態(tài)加工工藝中的機(jī)械定位和系統(tǒng)控制。

性能優(yōu)勢(shì)

l 真正意義上的雙頻激光干涉儀，頻差為640MHz。請(qǐng)用戶注意“激光干涉儀"和“雙頻激光干涉儀"的區(qū)別。雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩(wěn)定。世界范圍內(nèi)只有兩家雙頻激光干涉儀的生產(chǎn)商，德國耶拿爾公司是其中的一家。

l 全部部件皆在德國生產(chǎn)制造，絕非為了降低成本而在第三方國家進(jìn)行部件加工。光學(xué)組件全部采用蔡司光學(xué)鏡，是世界上一家將的蔡司光學(xué)鏡用于激光干涉儀領(lǐng)域的產(chǎn)品制造商。

l 測(cè)量系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計(jì)，各種測(cè)量功能之間互不影響。若用戶先期只需要干涉儀的部分功能（如僅測(cè)量直線度），則僅采購所需功能部分的光學(xué)部件（直線度光學(xué)鏡），其他不需要的功能暫時(shí)可以不采購；若后期有其他功能的需求，補(bǔ)充采購功能對(duì)應(yīng)的部件即可。

l 激光器壽命更長(zhǎng)，可達(dá)20000小時(shí)，激光穩(wěn)頻精度高，一小時(shí)內(nèi)為±0.002ppm，在產(chǎn)品壽命內(nèi)可達(dá)±0.02ppm。

l 干涉鏡采用差分干涉原理，系統(tǒng)精度更高，可達(dá)±0.4ppm。

l 計(jì)算機(jī)輔助光路調(diào)整，調(diào)整結(jié)果更準(zhǔn)確。

l 采樣頻率更快，達(dá)1MHz，可在0.001Hz-1MHz之間進(jìn)行選擇。

l 被測(cè)物體速度16m/s（可選）；采用高精度AE950 PCI數(shù)據(jù)處理器，分辨率達(dá)0.6nm（當(dāng)移動(dòng)速度為1m/s時(shí)，線性分辨率更可高達(dá)為0.1nm）。

l 無加速度限制；當(dāng)光線微弱時(shí)，性能也十分穩(wěn)定。

l 信號(hào)延時(shí)<200ns；對(duì)電磁干擾不敏感。

l 對(duì)于多軸聯(lián)動(dòng)的復(fù)雜光路測(cè)量和微位移測(cè)量，請(qǐng)選用ZLM800型雙頻激光干涉儀，最多可實(shí)現(xiàn)六軸聯(lián)動(dòng)。

工作原理

ZLM700激光干涉儀使用氦氖激光器，采用雙頻外差式工作模式。激光穩(wěn)頻精度為+/-0.002ppm，640MHz的頻差用于信號(hào)處理。這種高頻處理信號(hào)能夠?qū)Ω咚傥矬w進(jìn)行測(cè)量，不會(huì)出現(xiàn)干擾誤差，信號(hào)延時(shí)時(shí)間極短。

采用光纖電纜，把來自干涉鏡的信號(hào)傳輸?shù)接?jì)算機(jī)卡槽連接的電子計(jì)數(shù)器上，避免了外部電磁環(huán)境對(duì)測(cè)量信號(hào)的干擾。因此，ZLM700雙頻激光干涉儀特別適用于惡劣的生產(chǎn)環(huán)境、標(biāo)準(zhǔn)化實(shí)驗(yàn)室和高真空環(huán)境。

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)：ZLM700	AE700數(shù)據(jù)處理器	AE950數(shù)據(jù)處理器
He-Ne激光平均波長(zhǎng)：	632.8 nm	632.8 nm
激光穩(wěn)頻精度：	一小時(shí)：2x10^-9（±0.002ppm）壽命內(nèi)：2x10^-8（±0.02ppm）	一小時(shí)：2x10^-9（±0.002ppm）壽命內(nèi)：2x10^-8（±0.02ppm）
系統(tǒng)精度（0-40℃時(shí)）：	±0.4ppm	±0.4ppm
線性誤差：	±1.25nm（角隅干涉鏡） ±0.62nm（平面干涉鏡）	±0.3nm（角隅干涉鏡） ±0.1nm（平面干涉鏡）
采樣速度：	內(nèi)部0.005Hz-40MHz 外部0.001Hz-10MHz，可調(diào)	內(nèi)部0.005Hz-40MHz 外部0.001Hz-10MHz，可調(diào)
光束直徑：	6mm（可選3.2mm）	6mm（可選3.2mm）
激光管功率：	1mW（II級(jí)激光）	1mW（II級(jí)激光）
預(yù)熱時(shí)間：	12分鐘	12分鐘
速度：	4m/s（可選16m/s），線速度 320rad/s，角速度	1m/s，線速度 80rad/s，角速度
加速：	無限制	無限制
速度測(cè)量精度：	±0.5ppm實(shí)測(cè)值	±0.5ppm實(shí)測(cè)值
位移測(cè)量分辨率：	2.5nm（角隅干涉鏡） 1.25nm（平面干涉鏡） 0.62nm 可選	0.6nm（角隅干涉鏡） 0.3nm（平面干涉鏡） 0.1nm 可選
位移測(cè)量精度： (20°±0.5°) 使用AUK (20°±0.5°) 真空中	±0.4ppm (μ/m) ±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)	±0.4ppm (μ/m) ±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)
線性測(cè)量距離：	40m（可選120m）	40m（可選120m）
線性度測(cè)量分辨率：	2.5nm（角隅干涉鏡） 1.25nm（平面反射鏡） 0.62nm 可選	0.6nm（角隅干涉鏡） 0.3nm（平面反射鏡） 0.1nm 可選
線性度測(cè)量精度： (20°±0.5°) 使用AUK (20°±0.5°) 真空中	±0.4ppm (μ/m) ±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)	±0.4ppm (μ/m) ±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)
角度測(cè)量范圍：	± 15°，20m軸線范圍	± 15°，20m軸線范圍
角度測(cè)量分辨率：	0.062μrad（0.012角秒）	0.015μrad（0.012角秒）
角度測(cè)量精度：	±0.1ppm 示值	±0.1ppm 示值
平面度測(cè)量范圍：	20m行程	20m行程
平面度測(cè)量分辨率：	0.062μrad（3x10^-3弧秒）	0.015μrad（3x10^-3弧秒）
平面度測(cè)量精度：	±0.2%實(shí)測(cè)值 ±0.05μrad/米行程	±0.2%實(shí)測(cè)值 ±0.05μrad/米行程
直線度測(cè)量范圍：	± 5mm，2m或10m行程選用角度干涉鏡可測(cè)30m行程	± 5mm，2m或10m行程選用角度干涉鏡可測(cè)30m行程
直線度測(cè)量分辨率：	145nm，10m行程 29nm，2m行程	36nm，10m行程 7.25nm，2m行程
直線度測(cè)量精度：	±0.5%實(shí)測(cè)值，2m行程 ± 2.5%實(shí)測(cè)值，10m行程	±0.5%實(shí)測(cè)值，2m行程 ± 2.5%實(shí)測(cè)值，10m行程
垂直度測(cè)量范圍：	± 5mm，2m或10m行程選用角度干涉鏡可測(cè)30m行程	± 5mm，2m或10m行程選用角度干涉鏡可測(cè)30m行程
垂直度測(cè)量分辨率：	145nm，10m行程 29nm，2m行程	36nm，10m行程 7.25nm，2m行程
垂直度測(cè)量精度：	±0.5%實(shí)測(cè)值± 0.5角秒（2m） ±2.5%實(shí)測(cè)值± 0.5角秒（10m）	±0.5%實(shí)測(cè)值± 0.5角秒（2m） ±2.5%實(shí)測(cè)值± 0.5角秒（10m）
回轉(zhuǎn)軸測(cè)量分辨率：	0.00005°	0.00005°
回轉(zhuǎn)軸測(cè)量精度	0.00025°	0.00025°
數(shù)據(jù)接口：	積分信號(hào) 32 Bit (實(shí)時(shí)信號(hào)) 信號(hào)延時(shí)小于20 ns	積分信號(hào) 32 Bit (實(shí)時(shí)信號(hào)) 信號(hào)延時(shí)小于20 ns
數(shù)據(jù)分析標(biāo)準(zhǔn)：	ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA	ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
工作環(huán)境：	溫度：15°C-30°C 濕度：<90%無冷凝	溫度：15°C-30°C 濕度：<90%無冷凝
儲(chǔ)存環(huán)境：	溫度：10°C-40°C 濕度：<95%無冷凝	溫度：10°C-40°C 濕度：<95%無冷凝
環(huán)境補(bǔ)償器AUK：	環(huán)境傳感器精度： <0.1 ℃ 壓力傳感器精度： <1.5 hPa 相對(duì)濕度精度： <5% 材料傳感器精度： <0.05 ℃	環(huán)境傳感器精度： <0.1 ℃ 壓力傳感器精度： <1.5 hPa 相對(duì)濕度精度： <5% 材料傳感器精度： <0.05 ℃