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上海貝丁漢工業(yè)自動(dòng)化設(shè)備有限公司


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雙頻激光干涉儀(型號(hào):ZLM700,德國耶拿爾公司生產(chǎn),)

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地上海

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更新時(shí)間:2025-03-07 11:29:47瀏覽次數(shù):30次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

在德國,耶拿地區(qū)以生產(chǎn)蔡司光學(xué)產(chǎn)品而聞名

詳細(xì)介紹

 
在德國,耶拿地區(qū)以生產(chǎn)蔡司光學(xué)產(chǎn)品而聞名。位于該地區(qū)的耶拿爾(JENAer)公司生產(chǎn)的ZLM700雙頻激光干涉儀在同類產(chǎn)品中,由于具有的性能優(yōu)勢(shì)和簡(jiǎn)單的操作方法而久負(fù)盛名。由本公司代理,德國耶拿爾JENAer公司生產(chǎn)的雙頻激光干涉儀是真正意義上的雙頻干涉儀,并非單頻干涉原理。

產(chǎn)品功能
     定位精度、重復(fù)定位精度、位移距離測(cè)量、速度加速度測(cè)量、線性度、直線度、垂直度、平面度、偏擺角、俯仰角、滾動(dòng)角、角速度、圓形軌跡、微振動(dòng)測(cè)量,還能夠測(cè)量數(shù)控機(jī)床回轉(zhuǎn)臺(tái)的定位精度和重復(fù)定位精度等,從而實(shí)現(xiàn)定位、校準(zhǔn)、控制和補(bǔ)償。ZLM700主要用于單軸系統(tǒng)的校準(zhǔn)和測(cè)量,廣泛應(yīng)用于高速動(dòng)態(tài)加工工藝中的機(jī)械定位和系統(tǒng)控制。

性能優(yōu)勢(shì)
l          真正意義上的雙頻激光干涉儀,頻差為640MHz。請(qǐng)用戶注意“激光干涉儀"和“雙頻激光干涉儀"的區(qū)別。雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩(wěn)定。世界范圍內(nèi)只有兩家雙頻激光干涉儀的生產(chǎn)商,德國耶拿爾公司是其中的一家。
l          全部部件皆在德國生產(chǎn)制造,絕非為了降低成本而在第三方國家進(jìn)行部件加工。光學(xué)組件全部采用蔡司光學(xué)鏡,是世界上一家將的蔡司光學(xué)鏡用于激光干涉儀領(lǐng)域的產(chǎn)品制造商。
l          測(cè)量系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計(jì),各種測(cè)量功能之間互不影響。若用戶先期只需要干涉儀的部分功能(如僅測(cè)量直線度),則僅采購所需功能部分的光學(xué)部件(直線度光學(xué)鏡),其他不需要的功能暫時(shí)可以不采購;若后期有其他功能的需求,補(bǔ)充采購功能對(duì)應(yīng)的部件即可。
l          激光器壽命更長(zhǎng),可達(dá)20000小時(shí),激光穩(wěn)頻精度高,一小時(shí)內(nèi)為±0.002ppm,在產(chǎn)品壽命內(nèi)可達(dá)±0.02ppm。
l          干涉鏡采用差分干涉原理,系統(tǒng)精度更高,可達(dá)±0.4ppm
l          計(jì)算機(jī)輔助光路調(diào)整,調(diào)整結(jié)果更準(zhǔn)確。
l          采樣頻率更快,達(dá)1MHz,可在0.001Hz-1MHz之間進(jìn)行選擇。
l          被測(cè)物體速度16m/s(可選);采用高精度AE950 PCI數(shù)據(jù)處理器,分辨率達(dá)0.6nm(當(dāng)移動(dòng)速度為1m/s時(shí),線性分辨率更可高達(dá)為0.1nm)。
l          無加速度限制;當(dāng)光線微弱時(shí),性能也十分穩(wěn)定。
l          信號(hào)延時(shí)<200ns;對(duì)電磁干擾不敏感。
l          對(duì)于多軸聯(lián)動(dòng)的復(fù)雜光路測(cè)量和微位移測(cè)量,請(qǐng)選用ZLM800型雙頻激光干涉儀,最多可實(shí)現(xiàn)六軸聯(lián)動(dòng)。

工作原理
ZLM700激光干涉儀使用氦氖激光器,采用雙頻外差式工作模式。激光穩(wěn)頻精度為+/-0.002ppm,640MHz的頻差用于信號(hào)處理。這種高頻處理信號(hào)能夠?qū)Ω咚傥矬w進(jìn)行測(cè)量,不會(huì)出現(xiàn)干擾誤差,信號(hào)延時(shí)時(shí)間極短。
采用光纖電纜,把來自干涉鏡的信號(hào)傳輸?shù)接?jì)算機(jī)卡槽連接的電子計(jì)數(shù)器上,避免了外部電磁環(huán)境對(duì)測(cè)量信號(hào)的干擾。因此,ZLM700雙頻激光干涉儀特別適用于惡劣的生產(chǎn)環(huán)境、標(biāo)準(zhǔn)化實(shí)驗(yàn)室和高真空環(huán)境。
 

技術(shù)參數(shù)

型號(hào):ZLM700

AE700數(shù)據(jù)處理器

AE950數(shù)據(jù)處理器

He-Ne激光平均波長(zhǎng):

632.8 nm

632.8 nm

激光穩(wěn)頻精度:

一小時(shí):2x10-9(±0.002ppm)

壽命內(nèi):2x10-8(±0.02ppm)

一小時(shí):2x10-9(±0.002ppm)

壽命內(nèi):2x10-8(±0.02ppm)

系統(tǒng)精度(0-40℃時(shí)):

±0.4ppm

±0.4ppm

線性誤差:

±1.25nm(角隅干涉鏡)

±0.62nm(平面干涉鏡)

±0.3nm(角隅干涉鏡)

±0.1nm(平面干涉鏡)

采樣速度:

內(nèi)部0.005Hz-40MHz

外部0.001Hz-10MHz,可調(diào)

內(nèi)部0.005Hz-40MHz

外部0.001Hz-10MHz,可調(diào)

光束直徑:

6mm(可選3.2mm)

6mm(可選3.2mm)

激光管功率:

1mW(II級(jí)激光)

1mW(II級(jí)激光)

預(yù)熱時(shí)間:

12分鐘

12分鐘

速度:

4m/s(可選16m/s),線速度

320rad/s,角速度

1m/s,線速度

80rad/s,角速度

加速:

無限制

無限制

速度測(cè)量精度:

±0.5ppm實(shí)測(cè)值

±0.5ppm實(shí)測(cè)值

位移測(cè)量分辨率:

2.5nm(角隅干涉鏡)

1.25nm(平面干涉鏡)

0.62nm 可選

0.6nm(角隅干涉鏡)

0.3nm(平面干涉鏡)

0.1nm 可選

位移測(cè)量精度:

(20°±0.5°) 使用AUK

(20°±0.5°) 真空中

 

±0.4ppm (μ/m)

±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)

 

±0.4ppm (μ/m)

±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)

線性測(cè)量距離:

40m(可選120m)

40m(可選120m)

線性度測(cè)量分辨率:

2.5nm(角隅干涉鏡)

1.25nm(平面反射鏡)

0.62nm 可選

0.6nm(角隅干涉鏡)

0.3nm(平面反射鏡)

0.1nm 可選

線性度測(cè)量精度:

(20°±0.5°) 使用AUK

(20°±0.5°) 真空中

 

±0.4ppm (μ/m)

±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)

 

±0.4ppm (μ/m)

±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)

角度測(cè)量范圍:

± 15°,20m軸線范圍

± 15°,20m軸線范圍

角度測(cè)量分辨率:

0.062μrad(0.012角秒)

0.015μrad(0.012 角秒)

角度測(cè)量精度:

±0.1ppm 示值

±0.1ppm 示值

平面度測(cè)量范圍:

20m行程

20m行程

平面度測(cè)量分辨率:

0.062μrad(3x10-3 弧秒)

0.015μrad(3x10-3 弧秒)

平面度測(cè)量精度:

±0.2%實(shí)測(cè)值

±0.05μrad/米行程

±0.2%實(shí)測(cè)值

±0.05μrad/米行程

直線度測(cè)量范圍:

± 5mm,2m或10m行程

選用角度干涉鏡可測(cè)30m行程

± 5mm,2m或10m行程

選用角度干涉鏡可測(cè)30m行程

直線度測(cè)量分辨率:

145nm,10m行程

29nm,2m行程

36nm,10m行程

7.25nm,2m行程

直線度測(cè)量精度:

±0.5%實(shí)測(cè)值,2m行程

± 2.5%實(shí)測(cè)值,10m行程

±0.5%實(shí)測(cè)值,2m行程

± 2.5%實(shí)測(cè)值,10m行程

垂直度測(cè)量范圍:

± 5mm,2m或10m行程

選用角度干涉鏡可測(cè)30m行程

± 5mm,2m或10m行程

選用角度干涉鏡可測(cè)30m行程

垂直度測(cè)量分辨率:

145nm,10m行程

29nm,2m行程

36nm,10m行程

7.25nm,2m行程

垂直度測(cè)量精度:

±0.5%實(shí)測(cè)值± 0.5角秒(2m)

±2.5%實(shí)測(cè)值± 0.5角秒(10m)

±0.5%實(shí)測(cè)值± 0.5角秒(2m)

±2.5%實(shí)測(cè)值± 0.5角秒(10m)

回轉(zhuǎn)軸測(cè)量分辨率:

0.00005°

0.00005°

回轉(zhuǎn)軸測(cè)量精度

0.00025°

0.00025°

數(shù)據(jù)接口:

積分信號(hào)

32 Bit (實(shí)時(shí)信號(hào))

信號(hào)延時(shí)小于20 ns

積分信號(hào)

32 Bit (實(shí)時(shí)信號(hào))

信號(hào)延時(shí)小于20 ns

數(shù)據(jù)分析標(biāo)準(zhǔn):

ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA

ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA

工作環(huán)境:

溫度:15°C-30°C

濕度:<90%無冷凝

溫度:15°C-30°C

濕度:<90%無冷凝

儲(chǔ)存環(huán)境:

溫度:10°C-40°C

濕度:<95%無冷凝

溫度:10°C-40°C

濕度:<95%無冷凝

環(huán)境補(bǔ)償器AUK:

環(huán)境傳感器精度: <0.1 ℃

壓力傳感器精度: <1.5 hPa

相對(duì)濕度精度:   <5%

材料傳感器精度: <0.05 ℃

環(huán)境傳感器精度: <0.1 ℃

壓力傳感器精度: <1.5 hPa

相對(duì)濕度精度:   <5%

材料傳感器精度: <0.05 ℃

應(yīng)用光路圖


以上為直線度測(cè)量示意圖,包括水平方向直線度和垂直方向直線度


以上是平面度測(cè)量示意圖


以上是垂直度測(cè)量示意圖

 
以上是位移、線性度、速度、加速度、定位精度測(cè)量示意圖


以上是對(duì)角測(cè)量示意圖

 
以上是俯仰角測(cè)量示意圖


以上是偏擺角測(cè)量示意圖


以上是滾動(dòng)角測(cè)量示意圖


以上是回轉(zhuǎn)臺(tái)定位精度測(cè)量示意圖

以上是對(duì)長(zhǎng)度標(biāo)準(zhǔn)器(長(zhǎng)度規(guī))進(jìn)行標(biāo)定的應(yīng)用

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