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上海貝丁漢工業(yè)自動化設(shè)備有限公司


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多軸路同步測量激光干涉儀(型號:ZLM800,德國JENAer公司生產(chǎn),)

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地上海

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更新時間:2025-03-07 11:31:24瀏覽次數(shù):27次

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品功能ZLM800多軸路同步測量激光干涉儀——真正的雙頻激光干涉儀,主要用于各種平臺和部件的微位測量、各種擺鏡角度變化量的監(jiān)測、運動平臺位移量和角度變化的檢測、光刻機(jī)幾何量的測量、數(shù)控機(jī)床幾何量的測量等,最多可實現(xiàn)六軸聯(lián)動

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品功能
    ZLM800多軸路同步測量激光干涉儀——真正的雙頻激光干涉儀,主要用于各種平臺和部件的微位測量、各種擺鏡角度變化量的監(jiān)測、運動平臺位移量和角度變化的檢測、光刻機(jī)幾何量的測量、數(shù)控機(jī)床幾何量的測量等,最多可實現(xiàn)六軸聯(lián)動。也可通過位移+偏擺+俯仰的三角關(guān)系檢測物體的振動變化。
    1.納米級的多軸聯(lián)動位移、速度、加速度的動靜態(tài)測量分析及運動控制環(huán)同步測量校準(zhǔn);
    2.同步實時測量多軸聯(lián)動驅(qū)動部件的俯仰、扭擺、滾動的角位移變化, X-Y-Z 軸的聯(lián)動插補(bǔ)位移誤差及驅(qū)動匹配誤差分析;
    3.納米級振動的多軸向同步數(shù)據(jù)采集測量和分析。


性能優(yōu)勢

l          系統(tǒng)采用雙頻激光發(fā)射器及多軸路干涉信號同步數(shù)據(jù)處理器,是正意義上的雙頻激光干涉儀,頻差為640MHz。請用戶注意“激光干涉儀"和“雙頻激光干涉儀"概念的區(qū)別,雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩(wěn)定。世界范圍內(nèi)只有兩家雙頻激光干涉儀的生產(chǎn)商,德國耶拿爾公司是其中的一家。
l          全部部件皆在德國生產(chǎn)制造,絕非為了降低成本而在第三方國家進(jìn)行部件加工。光學(xué)組件全部采用蔡司光學(xué)鏡,是世界上一家將的蔡司光學(xué)鏡用于激光干涉儀領(lǐng)域的產(chǎn)品制造商。
l           激光器壽命更長,可達(dá)20000小時,激光穩(wěn)頻精度高,一小時內(nèi)為±0.002ppm,在產(chǎn)品壽命內(nèi)可達(dá)±0.02ppm。
l          干涉鏡采用差分干涉原理,系統(tǒng)精度更高,可達(dá)±0.4ppm。
l          基于可朔源的激光波長為位移量度量基準(zhǔn),應(yīng)用雙頻激光外差式干涉原理及交流光電信號處理器,克服了單頻激光干涉測量的直流電平漂移及受環(huán)境因素光強(qiáng)變化約束的弊端,具有的增益、高信噪比和抗電磁干擾性能,實現(xiàn)了可朔源的多光路外差式激光干涉測量。
l          采樣頻率更快,達(dá)1MHz,可在0.001Hz-1MHz之間進(jìn)行選擇。
l          被測物體速度16m/s(可選);采用高精度AE950 PCI數(shù)據(jù)處理器,分辨率達(dá)0.6nm(當(dāng)移動速度為1m/s時,線性分辨率更可高達(dá)為0.1nm)。
l          無加速度限制;當(dāng)光線微弱時,性能也十分穩(wěn)定。
l          信號延時<200ns;對電磁干擾不敏感。
l          對于多軸聯(lián)動復(fù)雜光路的角度和微位移的測量,ZLM800型是理想的選擇。

技術(shù)參數(shù)
型號:ZLM800
使用高性能PCI或機(jī)架式數(shù)據(jù)處理器
He-Ne激光平均波長:
632.8 nm
激光穩(wěn)頻精度:
一小時2x10-9±0.002ppm
壽命內(nèi)2x10-8±0.02ppm
系統(tǒng)精度(0-40℃時):
±0.4ppm
光束直徑:
6mm (可選3.2mm)
激光管突發(fā)輸出功率:
5mW (激光等級2)
每束光可測量的軸數(shù):
最多6
線性測量距離:
2m
角度測量范圍:
± 10°
速度:
2m/s
加速:
無限制
采樣頻率:
內(nèi)部1MHz,外部40MHz
預(yù)熱時間:
10分鐘
位移測量分辨率:
1.25nm
位移測量精度(20℃±0.5℃時):
±0.4ppm (μ/m)
角度測量分辨率:
0.012角秒
角度測量精度:

±0.1ppm 示值

數(shù)據(jù)接口:
積分信號
32 Bit (
實時時間)
數(shù)據(jù)延時< 20 ns
數(shù)據(jù)分析標(biāo)準(zhǔn):
ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
工作環(huán)境:
溫度:15°C-30°C
濕度:<90%無冷凝
儲存環(huán)境:
溫度:10°C-40°C
濕度:<95%無冷凝

應(yīng)用案例
以下是為某項目設(shè)計的ZLM800兩個應(yīng)用案例。在個案例中,用兩個3軸角度干涉儀分別監(jiān)視兩個擺鏡的擺動,實時測試兩個擺鏡對應(yīng)量(俯仰、偏擺和位移)的差異情況。在第二個案例中,用一個3軸角度干涉儀來測試擺鏡的鏡面擺動情況,2個單軸位移干涉儀檢測一個兩軸位移平臺的運動情況。


 
下述案例是為國內(nèi)某研究所某項目設(shè)計的ZLM800測量系統(tǒng)。用戶預(yù)先把被測物體放置在密閉箱中,密閉箱留有觀察窗口。所需要測量的數(shù)據(jù)是被監(jiān)視目標(biāo)Ⅰ、被監(jiān)視目標(biāo)Ⅱ的X、Y向的角度變化量,以及這兩個目標(biāo)在Z方向的相對變化量。


ZLM800部分光路圖示例


從X、Y和Z方向同時測量位移變化,其中X和Y在一個水平層面上

從X、Y和Z方向同時測量位移變化,其中X和Y不在一個水平層面上

在水平方向同時測量位移、偏擺和俯仰角度變化(上圖)
 
在垂直方向同時測量位移、偏擺和俯仰角度變化(上圖)
 
 
同時從X和Y方向測量位移和偏擺變化(上圖)
 
同時從X和Y方向測量運動平臺兩個層面的位移變化(上圖)
 
同時從X和Y方向測量位移、偏擺和俯仰的角度的變化(1)
 
同時從X和Y方向測量位移、偏擺和俯仰的變化(2)
 
同時從X和Y方向測量位移、偏擺和俯仰的變化(3)
 
機(jī)床行業(yè)對線性編碼器和旋轉(zhuǎn)編碼器的動態(tài)同步進(jìn)行標(biāo)定(三個軸路)
 
光刻機(jī)應(yīng)用布置圖,測量位移和角度變化


視頻資料(光刻機(jī)應(yīng)用)

資料下載



 
 
如果用戶有更復(fù)雜的光路需求,歡迎來電垂詢!


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