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光學(xué)式表面粗糙度輪廓形貌儀（型號：Proscan 2000，英國Scantron生產(chǎn)，）

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  英國Scantron公司

激光平面度檢測儀

表面粗糙度形貌儀

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上海貝丁漢工業(yè)自動(dòng)化設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品功能對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、共面性、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、蝕刻情況、彎曲變形情況、加工情況、材料支撐率等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品功能

對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、共面性、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、蝕刻情況、彎曲變形情況、加工情況、材料支撐率等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。被測物體的尺寸通常不大于150*100mm，更大尺寸的測量系統(tǒng)可以定做；工作臺承載重量40Kg。

產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于汽車工業(yè)、航空航天、造紙工業(yè)、鋼鐵工業(yè)、薄膜加工、半導(dǎo)體加工、MEMS等行業(yè)。

應(yīng)用范圍

* 機(jī)械密封的平面度和粗糙度測量；

* 電子元件表面的平面度、翹曲度和粗糙度測量分析；

* BGA焊料球的共面性、封裝是否變形以及所有的焊料球是否都存在的檢查分析；

* 造紙行業(yè)對紙張表面的紋理分析；

* 膜片的厚度及涂層的高度測量等；

* 化學(xué)蝕刻產(chǎn)品的蝕刻深度和面積測量；

* 壓花材料表面特征分析，如合成材料人造皮革表面形貌測量分析；

* 絲印裝置涂層厚度測量，如電子產(chǎn)品和生物等；

* 軋制鋁膜和鋼板表面情況進(jìn)行三維分析；

* 法醫(yī)學(xué)上三維表面形貌測量分析；

* 壓電陶瓷部件的輪廓和表面形貌特征測量分析；

* 牙齒的腐蝕和磨損情況分析；

* 醫(yī)學(xué)上如人造皮膚的輪廓分析；

* 溝槽深度和截面計(jì)算分析；

* 激光蝕刻表面的雕刻深度測量；

* 各種柔軟材料、易腐蝕材料、傳統(tǒng)接觸方式無法檢測的產(chǎn)品的表面形態(tài)測量和分析；

* 其他各種小型部件的平面度、粗糙度、波紋度和輪廓測量分析。

產(chǎn)品介紹

英國Scantron Industrial Products Ltd公司生產(chǎn)的Proscan 2000光學(xué)式表面粗糙度輪廓形貌儀，采用非接觸式傳感器掃描技術(shù)，用于對各種產(chǎn)品和部件的表面形貌特征進(jìn)行測量和分析，它比傳統(tǒng)的探針式輪廓儀操作更方便，測量精度更高。由于采用非接觸無損的測量方式，避免了對被測物體造成劃痕和磨損，尤其適用于各種柔軟材料、易腐蝕材料和傳統(tǒng)方式無法檢測的表面形態(tài)測量和分析。

Proscan 2000光學(xué)式表面粗糙度輪廓形貌儀掃描速度可達(dá)到80mm/秒，每秒2000個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)，每行可掃描20000個(gè)獨(dú)立的數(shù)據(jù)點(diǎn)，垂直測量分辨率可達(dá)到5nm，最小測量范圍0-110μm，測量范圍0-50mm。

Proscan 2000以花崗巖為工作平臺，是快速、精準(zhǔn)、非接觸式的三維表面形態(tài)測量儀器。廣泛應(yīng)用于各種表面輪廓和形貌特征精確測量分析的場合。高性能非接觸式光學(xué)傳感器掃面范圍是150mm（長）X100mm（寬），使用色差傳感器，每秒可測量1000個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)，使用三角激光傳感器每秒可測量10000個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)，對被測件平面的掃描點(diǎn)數(shù)最多可達(dá)576萬個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)。配套軟件可以對各種測量參數(shù)進(jìn)行分析。

產(chǎn)品特點(diǎn)

* 花崗巖框架結(jié)構(gòu)，受熱脹冷縮影響非常小，基本沒有振動(dòng)。

* 配套軟件可以以二維或三維的方式對數(shù)據(jù)進(jìn)行形貌分析。

* 數(shù)據(jù)分析結(jié)果方便導(dǎo)出，導(dǎo)出格式有ASCII、ZZZZ...LF及XYZLF...CR’a’等。

* 數(shù)據(jù)分析也可選擇二維X-Y平面視圖，還具有三點(diǎn)平面修正和自動(dòng)水平功能。

評定參數(shù)

Am 輪廓算術(shù)平均值

Ra 輪廓算術(shù)平均偏差

Rz（DIN）峰谷高低平均值

Rz（ISO）微觀不平度十點(diǎn)高度

Rmax 輪廓高度

Rp 平均輪廓波峰高度

Rq 粗糙度均值平均方根

Rpm 峰值高度值

Rvm 谷值深度值

R3z 算術(shù)平均第三峰谷間高度

Wt 波形深度總值

Pt 輪廓深度總值

Nr 峰值計(jì)數(shù)歸一

Tpa 材料支撐率（宏）

D 峰值密度

S 輪廓單峰平均間距

Sm 輪廓微觀不平度平均間距

Lm 取樣長度

共面性

Warpage濾波器，過濾表面粗糙度數(shù)據(jù)，而僅保留輪廓數(shù)據(jù)

Surface濾波器，過濾表面輪廓數(shù)據(jù)，而僅保留粗糙度數(shù)據(jù)

對單點(diǎn)進(jìn)行編輯

在X和（或）Y軸上進(jìn)行插值

半徑計(jì)算

體積計(jì)算

表面積計(jì)算

截面積計(jì)算

三維輪廓顯示

技術(shù)規(guī)范

掃描儀尺寸（長寬高）	740542（780-835）mm
掃描儀重量	40Kg
電控部分尺寸	570700750mm
電控部分重量	40Kg
計(jì)算機(jī)顯示器	15" LED顯示器
照明與定位攝像頭（可選）	14" CRT
掃面平臺尺寸	380*280mm
X和Y軸行程	150mm*100mm
Z軸行程	100mm
電源	220 - 240 VAC, 50/60Hz
使用環(huán)境	10-35℃
X及Y軸掃描點(diǎn)最小間隔距離	1μm
X及Y軸掃描點(diǎn)間隔距離	9.999mm
標(biāo)準(zhǔn)配置掃描樣品重量	6Kg
數(shù)據(jù)采集速度（取決于傳感器及設(shè)定）	20000點(diǎn)/秒
掃描速度（取決于傳感器及設(shè)定）	80mm/秒
回程速度	100mm/秒
掃描點(diǎn)數(shù)	576萬點(diǎn)

傳感器選型方案

傳感器型號	垂直測量范圍	物鏡測量距離 mm	分辨率	線性度（%+/-量程）	技術(shù) 原理
S3/011	110μm	3.3	5 nm	0.1	白光色差技術(shù)
S11/03	300μm	11	12 nm	0.1	白光色差技術(shù)
S13/1.1	1.1 mm	12.7	25 nm	0.1	白光色差技術(shù)
S16/2.5	2.5mm	16.4	75 nm	0.1	白光色差技術(shù)
S29/10	10mm	29	280 nm	0.1	白光色差技術(shù)
S20/20	20mm	19.6	600 nm	0.1	白光色差技術(shù)
L25/2H	2 mm	25	0.1 μm	0.05	三角測量技術(shù)
L35/10H	10 mm	35	0.5 μm	0.03	三角測量技術(shù)
L50/20H	20 mm	50	1 μm	0.03	三角測量技術(shù)
L70/50H	50 mm	70	2.5 μm	0.03	三角測量技術(shù)