 產(chǎn)品功能 對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、共面性、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、蝕刻情況、彎曲變形情況、加工情況、材料支撐率等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。被測物體的尺寸通常不大于150*100mm,更大尺寸的測量系統(tǒng)可以定做;工作臺承載重量40Kg。 產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于汽車工業(yè)、航空航天、造紙工業(yè)、鋼鐵工業(yè)、薄膜加工、半導(dǎo)體加工、MEMS等行業(yè)。 應(yīng)用范圍 * 機(jī)械密封的平面度和粗糙度測量; * 電子元件表面的平面度、翹曲度和粗糙度測量分析; * BGA焊料球的共面性、封裝是否變形以及所有的焊料球是否都存在的檢查分析; * 造紙行業(yè)對紙張表面的紋理分析; * 膜片的厚度及涂層的高度測量等; * 化學(xué)蝕刻產(chǎn)品的蝕刻深度和面積測量; * 壓花材料表面特征分析,如合成材料人造皮革表面形貌測量分析; * 絲印裝置涂層厚度測量,如電子產(chǎn)品和生物等; * 軋制鋁膜和鋼板表面情況進(jìn)行三維分析; * 法醫(yī)學(xué)上三維表面形貌測量分析; * 壓電陶瓷部件的輪廓和表面形貌特征測量分析; * 牙齒的腐蝕和磨損情況分析; * 醫(yī)學(xué)上如人造皮膚的輪廓分析; * 溝槽深度和截面計(jì)算分析; * 激光蝕刻表面的雕刻深度測量; * 各種柔軟材料、易腐蝕材料、傳統(tǒng)接觸方式無法檢測的產(chǎn)品的表面形態(tài)測量和分析; * 其他各種小型部件的平面度、粗糙度、波紋度和輪廓測量分析。 產(chǎn)品介紹 英國Scantron Industrial Products Ltd公司生產(chǎn)的Proscan 2000光學(xué)式表面粗糙度輪廓形貌儀,采用非接觸式傳感器掃描技術(shù),用于對各種產(chǎn)品和部件的表面形貌特征進(jìn)行測量和分析,它比傳統(tǒng)的探針式輪廓儀操作更方便,測量精度更高。由于采用非接觸無損的測量方式,避免了對被測物體造成劃痕和磨損,尤其適用于各種柔軟材料、易腐蝕材料和傳統(tǒng)方式無法檢測的表面形態(tài)測量和分析。 Proscan 2000光學(xué)式表面粗糙度輪廓形貌儀掃描速度可達(dá)到80mm/秒,每秒2000個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn),每行可掃描20000個(gè)獨(dú)立的數(shù)據(jù)點(diǎn),垂直測量分辨率可達(dá)到5nm,最小測量范圍0-110μm,測量范圍0-50mm。 Proscan 2000以花崗巖為工作平臺,是快速、精準(zhǔn)、非接觸式的三維表面形態(tài)測量儀器。廣泛應(yīng)用于各種表面輪廓和形貌特征精確測量分析的場合。高性能非接觸式光學(xué)傳感器掃面范圍是150mm(長)X100mm(寬),使用色差傳感器,每秒可測量1000個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn),使用三角激光傳感器每秒可測量10000個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn),對被測件平面的掃描點(diǎn)數(shù)最多可達(dá)576萬個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)。配套軟件可以對各種測量參數(shù)進(jìn)行分析。 產(chǎn)品特點(diǎn) * 花崗巖框架結(jié)構(gòu),受熱脹冷縮影響非常小,基本沒有振動(dòng)。 * 配套軟件可以以二維或三維的方式對數(shù)據(jù)進(jìn)行形貌分析。 * 數(shù)據(jù)分析結(jié)果方便導(dǎo)出,導(dǎo)出格式有ASCII、ZZZZ...LF及XYZLF...CR’a’等。 * 數(shù)據(jù)分析也可選擇二維X-Y平面視圖,還具有三點(diǎn)平面修正和自動(dòng)水平功能。
評定參數(shù) Am 輪廓算術(shù)平均值 Ra 輪廓算術(shù)平均偏差 Rz(DIN) 峰谷高低平均值 Rz(ISO) 微觀不平度十點(diǎn)高度 Rmax 輪廓高度 Rp 平均輪廓波峰高度 Rq 粗糙度均值平均方根 Rpm 峰值高度值 Rvm 谷值深度值 R3z 算術(shù)平均第三峰谷間高度 Wt 波形深度總值 Pt 輪廓深度總值 Nr 峰值計(jì)數(shù)歸一 Tpa 材料支撐率(宏) D 峰值密度 S 輪廓單峰平均間距 Sm 輪廓微觀不平度平均間距 Lm 取樣長度 共面性 Warpage濾波器,過濾表面粗糙度數(shù)據(jù),而僅保留輪廓數(shù)據(jù) Surface濾波器,過濾表面輪廓數(shù)據(jù),而僅保留粗糙度數(shù)據(jù) 對單點(diǎn)進(jìn)行編輯 在X和(或)Y軸上進(jìn)行插值 半徑計(jì)算 體積計(jì)算 表面積計(jì)算 截面積計(jì)算 三維輪廓顯示
技術(shù)規(guī)范 掃描儀尺寸(長*寬*高) | 740*542*(780-835)mm | 掃描儀重量 | 40Kg | 電控部分尺寸 | 570*700*750mm | 電控部分重量 | 40Kg | 計(jì)算機(jī)顯示器 | 15" LED顯示器 | 照明與定位攝像頭(可選) | 14" CRT | 掃面平臺尺寸 | 380*280mm | X和Y軸行程 | 150mm*100mm | Z軸行程 | 100mm | 電源 | 220 - 240 VAC, 50/60Hz | 使用環(huán)境 | 10-35℃ | X及Y軸掃描點(diǎn)最小間隔距離 | 1μm | X及Y軸掃描點(diǎn)間隔距離 | 9.999mm | 標(biāo)準(zhǔn)配置掃描樣品重量 | 6Kg | 數(shù)據(jù)采集速度(取決于傳感器及設(shè)定) | 20000點(diǎn)/秒 | 掃描速度(取決于傳感器及設(shè)定) | 80mm/秒 | 回程速度 | 100mm/秒 | 掃描點(diǎn)數(shù) | 576萬點(diǎn) | 傳感器選型方案 傳感器 型號 | 垂直 測量范圍 | 物鏡測量距離 mm | 分辨率 | 線性度 (%+/-量程) | 技術(shù) 原理 | S3/011 | 110μm | 3.3 | 5 nm | 0.1 | 白光色差技術(shù) | S11/03 | 300μm | 11 | 12 nm | 0.1 | 白光色差技術(shù) | S13/1.1 | 1.1 mm | 12.7 | 25 nm | 0.1 | 白光色差技術(shù) | S16/2.5 | 2.5mm | 16.4 | 75 nm | 0.1 | 白光色差技術(shù) | S29/10 | 10mm | 29 | 280 nm | 0.1 | 白光色差技術(shù) | S20/20 | 20mm | 19.6 | 600 nm | 0.1 | 白光色差技術(shù) | L25/2H | 2 mm | 25 | 0.1 μm | 0.05 | 三角測量技術(shù) | L35/10H | 10 mm | 35 | 0.5 μm | 0.03 | 三角測量技術(shù) | L50/20H | 20 mm | 50 | 1 μm | 0.03 | 三角測量技術(shù) | L70/50H | 50 mm | 70 | 2.5 μm | 0.03 | 三角測量技術(shù) | 各種可選項(xiàng) * 照明與定位攝像頭,用于小型部件的定位和缺陷檢查; * 其他各種傳感器; * 仿制材料,用于對不容易進(jìn)入的區(qū)域和對表面測量有困難的場合; * 比標(biāo)準(zhǔn)的X和Y行程范圍更大的測量平臺。 產(chǎn)品尺寸圖 應(yīng)用舉例 一、電子元件的形貌檢查  電子元件的原貌  對單個(gè)BGA的掃描結(jié)果 99%檢測BGA(包括穴距)和倒裝芯片的包裝情況,自動(dòng)分析共面性、球面高度、球的位置和包裝扭曲情況;分析絲焊高度和輪廓;亞微米級分辨率,三維圖形顯示平均、和最小深度。 二、部件表面粗糙度測量  被測部件原貌  掃描后的結(jié)果分析 精確分析被測部件的表面紋理、波面度和形態(tài)特征,符合ISO和DIN的粗糙度國際參數(shù)分析標(biāo)準(zhǔn),包括Ra、Rz、Rmax、Rq、Rvm、Rpm、Pt、Nr、D、Sm、Wt和Tpa等??蓽y量出平面度、表面積、體積、承載比和部件的精確尺寸。 三、紙張類表面的紋理分析  掃描前的產(chǎn)品原貌  掃描后的分析圖 對板材類、紙張類產(chǎn)品的表面進(jìn)行紋理和形貌特征分析,自動(dòng)計(jì)算各種表面分析的參數(shù),如Ra、Rz、Rmax、Rvm、Rpm、Sm和材料比等,測量速度快,結(jié)果準(zhǔn)確,操作簡單。 視頻資料 樣本下載 歡迎來電安排現(xiàn)場軟件演示! |