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技術文章

如何選擇適合的真空系統(tǒng)

閱讀:1519發(fā)布時間:2011-3-1

    選擇一套適合自己的真空系統(tǒng),往往事半功倍,特別是一開始設計時,就應該考慮到幾個關鍵的參數(shù),東山真空根據(jù)多年實踐,就設計,選擇真空系統(tǒng)主意的問題和大家分享一下:

    1)使真空室(或被抽器件)中能獲得所需的極限真空度和工作真空度。極限真空度是由真空泵長期抽氣后真空室(或被抽器件)所能達到的真空度;工作真空度是指在排氣過程中真空室(或被抽器件)所能維持的真空度。由于在排氣過程中,真空室(或被抽器件)往往需要進行某些處理(如加熱、電子轟擊等),因而會產(chǎn)生大量氣體,故工作真空度一般低于極限真空度。例如真空鍍膜機在開始蒸氣鍍膜時會放出大量氣體,此時真空室(鐘罩)內的真空度稱為工作真空度。又如真空退火爐在升溫過程中,因零件大量放氣,此時的真空度稱之為工作真空度。再如真空電子器件在烘烤排氣過程中的真空度也稱為工作真空度。當烘烤結束,器件內真空度基本維持不變,此時的真空度稱之為極限真空度。為滿足工作真空度和極限真空度,應選擇相應的真空泵,一般所選真空泵的極限真空度要高于真空室(或被抽器件)要求的極限真空度。

    2)使真空室(或被抽器件)獲得所需的抽速。抽速的大小決定了達到工作真空度、極限真空度所需的時間,提高抽速可縮短排氣時間從而提高勞動生產(chǎn)效率。抽速的大小還可根據(jù)被抽容器的體積大小以及放氣(漏氣)的大小而定。對于大的真空室如宇航模擬裝置、原子能實驗裝置,以及雖真空室小但放氣、漏氣嚴重的裝置都應采用大抽速的泵。

    3)被抽真空室(或工作室)中有合適的殘氣成分。單純保證工作真空度和極限真空度只反映了系統(tǒng)中的總壓強,還不能*保證某些特殊要求,還應對殘余氣體成分有一定的要求。例如在有氧化物陰極的器件中,殘氣中不應含有cl,s 或其化合物。

    4)真空系統(tǒng)結構簡單牢固,操作維護方便,耗電、耗水少,噪音低,無污染,價格便宜等。

    為滿足上述要求,必須從實用出發(fā),綜合考慮各種因素,合理選用真空泵、真空計、真空閥門及真空管道。如某些被抽容器本身有油污染源,因此選用真空泵就沒有必要選無油真空泵。如某些真空電子器件只需達到10-4帕的高真空,因而只要選用油擴散泵或鈦升華泵作為主泵,普通電離真空計做為測量真空用,若選用濺射離子泵和超高真空電離計就顯得大材小用了。反之,如果需要超高真空的系統(tǒng),而選用只能獲得高真空的泵和真空計,那么就力不從心了。
 


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