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無塵潔凈室的密閉性測試

時間:2016/8/8閱讀:2671
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密閉性測試

密閉性測試用于確認有無被污染的空氣從相鄰潔凈室(區(qū))或非潔凈室(區(qū))通過吊頂、隔墻等表面或門、窗滲漏入潔凈室(區(qū))。

一般適用于1級至5級的潔凈室(區(qū))進行測試。采用光度計法和粒子計數(shù)器法進行測試。

采用粒子計數(shù)器法時,測量被評價的表面的潔凈室(區(qū))外部的空氣中懸浮粒子濃度,應比潔凈室(區(qū))內(nèi)的濃度大一個10ª(a=4)的倍數(shù),并至少大于等于3.5×106/m³待測粒徑;若其空氣中懸浮粒子濃度小于該值,應添加氣溶膠提高濃度。

粒子計數(shù)器掃描時,儀器應距離潔凈室(區(qū))內(nèi)待測試的接縫密封處或嚙合面5-10cm;掃描速度5cm/s。對敞開的門廊處的測試,應在距離潔凈室內(nèi)敞開的門0.3 -3.0m處檢測空氣中懸浮粒子濃度。

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