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鄭州科佳電爐有限公司


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RTP快速退火爐

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)KJ-RTP1000-DZ

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地鄭州市

聯(lián)系方式：王倩查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2025-05-12 09:00:01瀏覽次數(shù)：20次

聯(lián)系我時(shí)，請告知來自 環(huán)保在線

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：208條

所在地區(qū)：河南鄭州市

聯(lián)系人：王倩 （銷售）

產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹：該定制RTP快速退火爐是一款RTP(快速熱處理)管式爐、多通道質(zhì)子流量計(jì)系統(tǒng)及真空系統(tǒng)組成，專為半導(dǎo)體基片和太陽能電池或其他樣品（尺寸可達(dá)3）退火而設(shè)計(jì)

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹：
  該定制RTP快速退火爐是一款RTP (快速熱處理) 管式爐、多通道質(zhì)子流量計(jì)系統(tǒng)及真空系統(tǒng)組成，專為半導(dǎo)體基片和太陽能電池或其他樣品（尺寸可達(dá)3"）退火而設(shè)計(jì)。 這款設(shè)備是采用紅外燈加熱，升溫速度是50℃/秒。 30 段精確溫度控制，RS485接口和控制軟件可以通過計(jì)算機(jī)控制爐子運(yùn)行并顯示溫度曲線。

應(yīng)用范圍：

    退火爐是一款精巧型快速熱處理管式爐， 是CVD法生長大尺寸二維石墨烯的常用設(shè)備，它是專為半導(dǎo)體或太陽能電池基片的退火而設(shè)計(jì)，采用紅外燈管加熱，升溫速度為 50°C/秒. 30 段溫度控制，精度為 ±1°C°C. 計(jì)算機(jī)通過RS485口和控制軟件實(shí)時(shí)控制爐子和顯示溫度曲線 。

 

技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品名稱

定制RTP系統(tǒng)

部分： 管式爐

產(chǎn)品名稱

開啟式上下溫區(qū)RTP管式爐  

溫度

1000度

控 制 器

LCD觸摸屏

爐管尺寸

石英管 外徑80mm/內(nèi)徑72mm 單側(cè)開口  

加熱區(qū)

300mm  

爐型

開啟式

供電電源

電壓：380V； 頻率:50 hz；三相

加熱元件

鹵素?zé)艏訜? 

升溫速率

30 C/秒

熱 電 偶

K  型熱電偶測物料處溫度

溫度控制器

30段高精度數(shù)字可編程溫度控制器

 第二部分  混氣系統(tǒng)

量程

MFC1：氧氣（O2）0-200sccm

MFC2：氬氣（Ar）0-200sccm

第三部分 真空系統(tǒng)

飛越VDR-4  1L/S  +粉塵過濾器配套防腐數(shù)顯真空計(jì)

 

 

 

 1、我公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障，均予以免費(fèi)維修。保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
 2、在設(shè)備使用過程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設(shè)備正常運(yùn)行。
 3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡單故障排除維修培訓(xùn)。
 4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
 5、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù)，包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全（用戶手冊、保修手冊、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等）。
 6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證。

 

 


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