產品介紹：KJ-1200T-S60LK3-3FZ型CVD管式爐由KJ-T1200管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)組成，溫度可以達到1200度,可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等，極限真空可以達到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調節(jié)可以是質子流量計或浮子流量計，混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合

詳細介紹

產品介紹：

KJ-1200T-S60LK3-3FZ型CVD管式爐由KJ-T1200管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)組成，溫度可以達到1200度,可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等，極限真空可以達到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調節(jié)可以是質子流量計或浮子流量計，混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。

KJ-T1200管式爐采用摻鉬合金加熱絲為加熱元件，采用雙層殼體結構和宇電控溫儀表，能進行30段程序控溫，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用日本進口氧化鋁多晶纖維材料，具有溫場均衡、表面溫度低、節(jié)能等優(yōu)點。

應用范圍：

KJ-1200T-S60LK3-3FZ型CVD爐是一種特殊的CVD系統(tǒng)，廣泛應用于半導體工業(yè)中沉積薄膜材料，包括大范圍的絕緣材料，以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料、二維材料等，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結等實驗。是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火用的理想產品。

規(guī)格參數(shù)：

高溫爐殼體	采用雙層殼體結構，并帶有風冷系統(tǒng)，使得殼體表面溫度小于55℃，內爐膛表面涂有1750℃進口氧化鋁涂層材料提高反射率及爐膛潔凈度
功率	2.5 KW
電壓	AC 208-240V 單相, 50/60 Hz
加熱元件	摻鉬鐵鉻鋁合金（表面涂有氧化鋯涂層，使其延長使用壽命）
工作溫度	1200℃
連續(xù)工作溫度	1100℃
升溫速率	<= 20 ℃
爐管材質和尺寸	石英管: OD: 80mm x ID: 75 mm x Length: 1000 mm
加熱區(qū)長度	三溫區(qū)：200+200+200 mm
恒溫區(qū)長度	350 (+/-1 ℃)
控溫系統(tǒng)	PID30段程序化控溫
控溫精度	+/- 1 ℃
真空密封系統(tǒng)	兩個不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計和截止閥），漏氣率6 mtorr/min
真空泵	采用雙旋機械泵，機械泵上安裝有油污過濾器，可以過濾真空泵工作時產生的油煙，減少泵油的損耗，保護環(huán)境和人體健康，過濾的最小微粒直徑為0.3微米。
數(shù)字式真空顯示計	數(shù)顯真空計,已安裝在不銹鋼法蘭上
混氣系統(tǒng)	三個質量流量計三路質量量程分別為 10-100 cc/min. 16-160 cc/min. 25-250 cc/min 內部安裝有一混氣罐
售后服務	質保一年，終身保修

可選配件：

質量混氣系統(tǒng)1臺、雙旋機械泵1臺、K型熱電偶1支、氣煉石英爐管1根、不銹鋼法蘭1套、不銹鋼爐鉤1、爐塞1對、高溫手套1副、說明書1份

1、我公司對所供設備提供質保一年保修服務（易損件除外），在保修期內因設備質量原因造成的設備損壞或故障，均予以免費維修。保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質的維修服務。
2、在設備使用過程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設備正常運行。
3、我公司設提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
4、我公司技術人員可提供(產品安裝調試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
5、本公司可提供運輸服務，包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全（用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、隨機工具等）。
6、本公司所有產品均有歐盟CE質量認證。