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行業(yè)產(chǎn)品

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鄭州科佳電爐有限公司


滑道式PECVD系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號KJ-T1200-S6044-LK-Z

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地鄭州市

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更新時間：2025-05-12 11:31:56瀏覽次數(shù)：35次

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹：滑道式PECVD系統(tǒng)由PT-1200T管式爐加熱系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、質(zhì)量流量計供氣系統(tǒng)、等離子射頻電源系統(tǒng)組成

詳細介紹

產(chǎn)品介紹：
    滑道式PECVD系統(tǒng)由PT-1200T管式爐加熱系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、質(zhì)量流量計供氣系統(tǒng)、等離子射頻電源系統(tǒng)組成。借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。

產(chǎn)品應(yīng)用：
   PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。 該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于沉積高質(zhì)量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜和炭納米管（CNT）、石墨烯材料等。
  
產(chǎn)品參數(shù)：
 

產(chǎn)品名稱 滑道式PECVD系統(tǒng)
滑軌管式爐部分
產(chǎn)品型號 KJ-T1200-S6044-LK-Z
加熱區(qū)長度 440mm
爐管直徑 直徑60mm
工作溫度 ≦1100℃
溫度 1200℃
測溫元件 K型熱電偶
溫控系統(tǒng) PID微電腦可編程自動控制
控溫精度 ±1℃
溫控保護 具有超溫和斷偶保護功能
升溫速率 0-20ºC/min
加熱元件 高電阻電熱合金絲OCr27A17Mo
工作電壓 AC 220V 單相 50HZ 
滑軌設(shè)計 能實現(xiàn)快速升降溫
爐膛材料 采用多晶纖維爐膛材料，材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡
密封系統(tǒng) 該爐爐管與法蘭之間采用O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復(fù)撤卸，氣密性好
爐  管 高純石英管
法   蘭 不銹鋼法蘭，方便拆卸，放取材料
爐殼溫度 ≤45℃
                     真空系統(tǒng)部分
名稱 高真空分子泵組
主要參數(shù) 真空泵極限真空度10-3 pa（包含KF25接口和可移動箱體）
真空計測量范圍 其測量范圍為1×105--1×10-5pa
氣路系統(tǒng)部分
名稱 四路質(zhì)量流量計
氣路 四路
流量控制 每路氣體含有針閥單獨控制
流量計 質(zhì)量流量計
流量范圍 0-1000sccm可調(diào)
工作環(huán)境溫度 5℃-45℃
等離子電源系統(tǒng)
匹配功率范圍 0-500W
工作頻率 13.56MHZ+0.005%
正常工作反射功率 ＜3W
匹配時間 ＜3S
傳輸效率 ＞90%
匹配器電源 AC220V/50-60HZ
輸入連接器 N型
輸出連接器 UHF
控制模式 手動/自動
可設(shè)預(yù)置點數(shù) 7
認證 、CE認證
售后服務(wù) 質(zhì)保一年，終身保修（耗材類：高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質(zhì)保范圍）

 

 

 

 1、我公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障，均予以免費維修。保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
 2、在設(shè)備使用過程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設(shè)備正常運行。
 3、我公司設(shè)提供免費的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡單故障排除維修培訓(xùn)。
 4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機維護、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
 5、本公司可提供運輸服務(wù)，包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術(shù)資料齊全（用戶手冊、保修手冊、有關(guān)資料及配件、隨機工具等）。
 6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認證。

 

 


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