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表2. 潔凈室懸浮粒子潔凈度等級(jí)對(duì)照
| FS 209E | ISO 14644-1 | |||||||||||
| zui大允許粒子濃度限值（≥D）Pc/m3 | 粒子允許濃度限值（≥D）Pc/m3 | |||||||||||
| 粒徑um 級(jí)別 | 0.1 | 0.2 | 0.3 | 0.5 | 5.0 | 粒徑um級(jí)別 | 0.1 | 0.2 | 0.3 | 0.5 | 1.0 | 5.0 |
| | | | | | | ISO1 | 10 | 2 | | | | |
| | | | | | | ISO2 | 100 | 24 | 10 | 4 | | |
| M1 | 350 （9.91） | 75.7（2.14） | 30.9（0.875） | 10（0.283） | | | | | | | | |
| M1.5 | 1240（35） | 265（7.5） | 106（3） | 35.3（1.0） | | ISO3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
| M2 | 3500（99.1） | 757（21.4） | 309（8.75） | 100（2.83） | | | | | | | | |
| M2.5 | 12400（350） | 2650（75） | 1060（30） | 353（10） | | ISO4 | 10,000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | |
| M3 | 35,000（991） | 7570（214） | 3090（87.5） | 1000（28.3） | | | | | | | | |
| M3.5（100） | | 26,500（750） | 10600（300） | 3530（100） | | ISO5 | 100,000 | 23700 | 10,200 | 3520 | 832 | 29 |
| M4 | | 75,700（2140） | 30900（875） | 10,000（283） | | | | | | | | |
| M4.5（1000） | | | | 35300（1000） | 247（7） | ISO6 | 1,000,000 | 23,7000 | 102,000 | 35,200 | 8320 | 293 |
| M5 | | | | 100,000（2830） | 618（17.5） | | | | | | | |
| M5.5（10000） | | | | 353,000（10,000） | 2470（70） | ISO7 | | | | 352,000 | 83,200 | 2930 |
| M6 | | | | 1,000,000（28,300） | 6180（175） | | | | | | | |
| M6.5（100000） | | | | 3,530,000（100,000） | 24,700（700） | ISO8 | | | | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 |
| M7 | | | | 10,000,000（283,000） | 61,800（1750） | | | | | | | |
| | | | | | | ISO9 | | | | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 |
注：1、凡（）內(nèi)數(shù)字為英制的粒子濃度Pc/ft3。
2、ISO 14644-1的表名按其標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)為“選列的潔凈室懸浮粒子潔凈度等級(jí)”。
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