機(jī)械真空泵按其工作原理及結(jié)構(gòu)特點(diǎn)分述如下:
一、變?nèi)菡婵毡?/div>
它是利用泵腔容積的周期變化來(lái)完成吸氣和排氣以達(dá)到抽氣目的的真空泵。氣體在排出泵腔前被壓縮。這種泵分為往復(fù)式及旋轉(zhuǎn)式兩種。
1、往復(fù)式真空泵
利用泵腔內(nèi)活塞往復(fù)運(yùn)動(dòng),將氣體吸入、壓縮并排出。又稱為活塞式真空泵。
2、旋轉(zhuǎn)式真空泵
利用泵腔內(nèi)轉(zhuǎn)子部件的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)將氣體吸入、壓縮并排出。
旋片式真空泵是一種油封旋轉(zhuǎn)抽氣機(jī),又叫蓋德泵,主要由定子,轉(zhuǎn)子及滑片等組成。轉(zhuǎn)子偏心裝在定子中,并與定子內(nèi)壁頂點(diǎn)相切。轉(zhuǎn)子上裝有兩個(gè)能滑動(dòng)的滑片,靠彈簧和轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)離心力的作用而緊緊貼在定子壁上。轉(zhuǎn)子和滑片將定子分成吸氣腔、貯氣腔和排氣腔。由于轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)滑片使吸氣腔不斷擴(kuò)大而吸氣.而排氣腔中氣體逐漸被壓縮,直到其中壓力超過大氣壓時(shí),排氣閥片被打開,氣體被排到大氣中去。
為防止排出氣體返流泵內(nèi),特將排氣閥用油覆蓋密封。真空泵油對(duì)定子、轉(zhuǎn)子與滑片之間除潤(rùn)滑作用外,也還有密封作用。
普通旋片真空泵,多用于抽除純凈干燥氣體,若抽除含有大量凝聚氣的氣體,則需選用旋片氣鎮(zhèn)(閥)真空泵。有氣鎮(zhèn)閥安裝于“貯氣腔”,它會(huì)開啟吸入一定數(shù)量的空氣,其分壓超過抽氣空腔中水蒸氣壓力的幾倍,到排氣腔時(shí),水蒸氣的分壓還低于飽和蒸氣壓,故不會(huì)凝結(jié)成液體水滴,而保持氣態(tài)與空氣一起排出泵外。