羅茨泵的抽速和零流量壓縮比從表面看, 是二種截然不同的概念, 似乎是絲毫沒有關(guān)系的二項(xiàng)性能指標(biāo)。但實(shí)際上它們不但同樣是表示羅茨泵抽氣能力的性能指標(biāo), 而且相互之間有非常密切的關(guān)系。零流量壓縮比與抽速相比更能真實(shí)反映羅茨泵的設(shè)計和制造質(zhì)量, 并在測試和應(yīng)用上更有*的優(yōu)點(diǎn), 因此我們認(rèn)為應(yīng)該以零流量壓縮比作為羅茨泵抽氣能力的考核指標(biāo)。
一般羅茨泵必須與前級泵匹配才能工作, 因此它的抽速與前級泵密切相關(guān)。羅茨泵與液環(huán)泵、旋片真空泵、滑閥泵、活塞泵……等可以組成各式各樣的真空機(jī)組, 而且可以根據(jù)不同的需要,采用各種配比, 這樣組成的真空機(jī)組也就有了不同的極限壓力和抽速。因此所謂的羅茨泵抽速, 實(shí)際是真空機(jī)組的抽速。它在很大程度上取決于前級泵的種類和大小, 也就是前級泵的極限壓力和抽速。在“羅茨真空泵產(chǎn)品質(zhì)量分等”標(biāo)準(zhǔn)中雖然規(guī)定了前級泵的型號, 但由于前級泵( 旋片泵、滑閥泵) 標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定, 泵的幾何抽速為( 1. 1～1. 2) 名義抽速, 因而抽速測量誤差*一項(xiàng)就達(dá)2%。
環(huán)境溫度的變化不可避免地也將對抽速測量帶來影響, 尤其是真空度較高時, 它是通過影響前級泵的真空度，間接影響抽速。 “羅茨真空泵產(chǎn)品質(zhì)量分等”標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定了考核抽速時必須配用“羅茨真空泵”標(biāo)準(zhǔn)中*的前級泵, 這對于ZJ-300 和它以下的羅茨泵問題不大, 而對ZJ-600 和它以上的羅茨泵則就問題大了。
真正反映羅茨泵本身抽氣能力和設(shè)計制造質(zhì)量的性能指標(biāo)是零流量壓縮比, 它是零流量時前級壓力與入口壓力之比。壓縮比的大小反映了羅茨泵由排出口返回到入口氣體的多少, 也就是抽氣效率的高低。零流量壓縮比的zui大值Komax 即可用來衡量羅茨泵抽氣能力的大小。零流量壓縮比從羅茨泵本身, 也就是從設(shè)計制造角度來說, 它取決于羅茨泵轉(zhuǎn)子型線的設(shè)計、加工和泵的裝配, 也就是說取決于轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子、轉(zhuǎn)子與泵體、轉(zhuǎn)子與側(cè)蓋之間的間隙。良好的轉(zhuǎn)子型線可以使轉(zhuǎn)子在嚙合過程中保持均勻的間隙, 從而使我們有可能在保證連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)時zui大允許壓差的條件下, 選取較小的間隙, 以使Komax有較大值。轉(zhuǎn)子表面的粗糙度也會使低壓下的壓縮比有所損失, 因?yàn)檗D(zhuǎn)子表面在高壓側(cè)吸附的氣體在轉(zhuǎn)到低壓側(cè)時將釋放一部分。零流量壓縮比從測試角度來說, 它取決于前級壓力和氣體種類。標(biāo)準(zhǔn)已規(guī)定了測試氣體為非可凝性氣體, 一般指空氣, 因而零流量壓縮比的測試就*取決于前級壓力了。零流量壓縮比的測試一般從10Pa( 前級壓力) 開始, 因此對前級泵的極限壓力要求不高, 即使是單級旋片(滑閥) 泵也能滿足要求。至于對前級泵抽速也無嚴(yán)格的要求, 一般在羅茨泵與前級泵常用的配比范圍內(nèi)均可。對于大抽速羅茨泵, 這個配比可以取得更大些, 因?yàn)榍凹壉贸樗俅笮H僅影響測試時向前級管道上的測試罩內(nèi)摻氣的多少, 對零流量壓縮比沒有影響。
零流量壓縮比的zui大優(yōu)點(diǎn)是, 在得出了羅茨泵的零流量壓縮比—— 前級壓力曲線以后, 可以根據(jù)所選配的前級泵的抽速—— 入口壓力曲線, 近似計算出羅茨泵與前級泵所組成的機(jī)組的抽速, 從而使生產(chǎn)廠可以根據(jù)用戶生產(chǎn)工藝流程的需要, 通過計算來選取配比的羅茨真空泵機(jī)組。羅茨真空泵機(jī)組抽速(近似)
雅之雷德綜上所述, 羅茨泵的抽速和零流量壓縮比都是有關(guān)抽氣能力方面的性能指標(biāo), 因此只需考核其中一項(xiàng)即可。二者相比較，
零流量壓縮比具有*的優(yōu)點(diǎn):
1、它能真實(shí)反映羅茨泵本身的設(shè)計和制造質(zhì)量。
2、前級泵對它的影響很小。
3、對大抽速羅茨泵, 它不需要復(fù)雜的前級泵系統(tǒng)。
4、可以計算各種匹配下羅茨泵(機(jī)組) 的抽速, 以確定用戶所需的羅茨泵機(jī)組設(shè)計方案。
因此, 可以毫不猶疑地說, 應(yīng)該選擇零流量壓縮比作為羅茨旋片真空泵抽氣能力的考核指標(biāo)。
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