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北京維意真空技術(shù)應(yīng)用有限責任公司
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更新時間：2017-03-09 17:04:47瀏覽次數(shù)：908次
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小型磁控濺射鍍膜儀，主要特點是設(shè)備體積小，結(jié)構(gòu)簡單緊湊易于操作，對實驗室供電要求低；該系列設(shè)備主要部件采用進口或者國內(nèi)*的配置，從而提高設(shè)備的穩(wěn)定性；另外自主開發(fā)的智能操作系統(tǒng)在設(shè)備的運行重復(fù)性及安全性方面得到更好地保障。 目前該系列有基本型、旗艦型、豪華型、尊享型4種不同配置可供選擇，可以根據(jù)客戶的不同需求進行配置，比較靈活；標配2只Φ2英寸永磁靶，一臺500W直流濺射電源，主要用來開發(fā)納米級
小型磁控濺射鍍膜儀，主要特點是設(shè)備體積小，結(jié)構(gòu)簡單緊湊易于操作，對實驗室供電要求低；該系列設(shè)備主要部件采用進口或者優(yōu)的配置，從而提高設(shè)備的穩(wěn)定性；另外自主開發(fā)的智能操作系統(tǒng)在設(shè)備的運行重復(fù)性及安全性方面得到更好地保障。 目前該系列有基本型、旗艦型、豪華型、尊享型4種不同配置可供選擇，可以根據(jù)客戶的不同需求進行配置，比較靈活；標配2只Φ2英寸永磁靶，一臺500W直流濺射電源，主要用來開發(fā)納米級單層及多層的金屬導(dǎo)電膜、半導(dǎo)體膜以及絕緣膜等。
2.1 實用性：設(shè)備集成度高，結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小，可以滿足客戶實驗室空間不足的苛刻條件；通過更換設(shè)備上下法蘭可以實現(xiàn)磁控與蒸發(fā)功能的轉(zhuǎn)換，實現(xiàn)一機多用；
2.2 方便性：設(shè)備需要拆卸的部分均采用即插即用的方式，接線及安裝調(diào)試簡單，既保證了設(shè)備使用方便又保證了設(shè)備的整潔；
2.3 高性價比：設(shè)備主要零部件采用進口或國內(nèi)，以國產(chǎn)設(shè)備的價格擁有進口設(shè)備的配置，從而保證了設(shè)備的質(zhì)量及性能；
2.4 安全性：獨立開發(fā)的PLC+觸摸屏智能操作系統(tǒng)在傳統(tǒng)操作系統(tǒng)的基礎(chǔ)上新具備了漏氣自檢與提示、通訊故障自檢、保養(yǎng)維護提示等功能，保證了設(shè)備的使用安全性能；
3.1 腔室尺寸：Ф246×228mm，1Cr18Ni9Ti優(yōu)質(zhì)不銹鋼材質(zhì)，氬弧焊接；
3.2 樣品臺尺寸：Ф75mm，高度：60～120mm可調(diào)，旋轉(zhuǎn)：0-20r/min可調(diào)；
3.3 真空系統(tǒng)：機械泵（TRP-12,3L/s）+Pfeiffer分子泵(Hipace80,67L/s)（可選國產(chǎn)分子泵）；GDC-25b電磁擋板閥，DN25mm 限流閥；
3.4 極限真空：8.0×10-5Pa；
3.5 真空抽速：大氣～8×10-4Pa ≤ 20min；
3.6 真空測量：全量程復(fù)合真空計，測量范圍：105Pa～10-5Pa；
3.7 磁控靶：Φ2英寸2只（含靶擋板），兼容直流電源和射頻電源；
3.8 濺射電源：直流和射頻可選；
3.9 質(zhì)量流量計：20sccm、50sccm質(zhì)量流量控制器各一套；
3.10控制方式：PLC+觸摸屏智能控制系統(tǒng)，具備漏氣自檢與提示、通訊故障自檢、保養(yǎng)維護提示等功能；
3.11設(shè)備外形：L60cm×W60cm×H96cm機電一體化機架，預(yù)留1個KF40法蘭接口；
3.12 設(shè)備供電總功率≤2KW，220V，單相三線制（一火一零一地）；
3.13 冷卻循環(huán)系統(tǒng)：水壓0.2～0.4MPa，水溫10～25℃，給設(shè)備相關(guān)需水冷部件提供穩(wěn)定的制冷水
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