激情综合啪啪6月丁香,久久久久国产精品91福利,99精品日韩欧美在线观看,91成人午夜福利在线观看国产

四方光電(武漢)儀器有限公司
初級會員 | 第7年

18627990650

半導體行業(yè)薄膜沉積設備腔室清潔終點檢測解決方案

時間:2025/5/9閱讀:140
分享:
  1.腔室清潔終點精確控制的重要性與挑戰(zhàn)
 
  薄膜沉積(如CVD/ALD)、光刻和刻蝕是半導體制造的三大核心工藝,其中薄膜沉積作為基礎環(huán)節(jié),負責金屬、介質及半導體薄膜的制備。為確保薄膜沉積工藝的穩(wěn)定性,需定期使用NF?對腔室進行清潔,以去除積聚的聚合物材料。
 
  精確控制清潔終點至關重要:
 
  ●清潔不足:殘留沉積物會形成顆粒污染,導致產(chǎn)品良率下降
 
  ●過度清潔:增加NF?消耗、延長設備停機時間并縮短腔室壽命。
 
  傳統(tǒng)方法依賴經(jīng)驗時間控制清潔終點,但最佳清潔時間受多變量影響(如沉積厚度、溫度、壓力、氣體流量及材料化學組成),且這些參數(shù)可能隨時間漂移。因此,多數(shù)工藝會延長清潔時間以確保清潔,但這也造成了資源浪費。
 
  2.腔室清潔終點副產(chǎn)物氣體檢測方法的基本理論
 
  腔室清潔的原理是NF?與沉積物反應生成氣體(如SiF?)后通過泵排出。清潔過程中,SiF?分壓會經(jīng)歷以下變化:
 
  ●初始階段:SiF?分壓急劇上升;
 
  ●清潔完成:分壓回落至基線水平。
 
  Johnson等(2004)提出通過質譜儀實時監(jiān)測SiF?分壓來確定清潔終點。由于氣體排出存在滯后,終點定義為SiF?濃度曲線后沿漸近線與基線水平線的交點(圖1)。近年來,紅外氣體傳感器因其實時性和可靠性,已成為主流檢測手段。
  圖1 用于確定清潔終點時間的SiF?濃度曲線(Johnson et al. 2004)
 
  3.腔室清潔終點檢測設備的國產(chǎn)化替代需求
 
  2025年3月5日,國務院總理在《政府工作報告》中強調“以科技創(chuàng)新推動關鍵核心技術自主可控",半導體產(chǎn)業(yè)被列為國家戰(zhàn)略支柱。然而,半導體設備關鍵部件長期依賴歐美日廠商,紅外氣體傳感器等核心零部件面臨斷供風險。國產(chǎn)化替代不僅是技術自主的必然要求,更是保障產(chǎn)業(yè)鏈安全的關鍵舉措。
 
  4.解決方案
 
  四方儀器作為紅外氣體傳感器制造商,針對薄膜沉積設備清潔終點檢測需求,推出Gasboard-2060 SiF?紅外氣體傳感器。
  圖2 Gasboard-2060 SiF?紅外氣體傳感器
 
  4.1 技術優(yōu)勢
 
  ●雙光束紅外(NDIR)技術:采用電調制光源和集成雙通道探測器,顯著提升抗干擾能力;
 
  ●環(huán)境適應性:通過參考通道補償溫度、濕度及交叉氣體干擾,確保測量穩(wěn)定性;
 
  ●高精度:量程0~200 mTorr,準確度≤±1.0% F.S.,響應時間T90≤2秒。
  圖3 Gasboard-2060 SiF?紅外氣體傳感器光學結構
 
  4.2 產(chǎn)品性能
 
  實驗室測試顯示,傳感器的線性準確度(圖4)、響應時間(圖4)、重復性和檢出限等均滿足CVD腔室清潔的實時監(jiān)測需求。
 
  表1 Gasboard-2060 SiF?紅外氣體傳感器的技術參數(shù)

測量原理

NDIR

測量氣體

SiF?、CF4、SF6、NF3、CO2

量程范圍

0~200 mTorr

準確度

≤±1.0% F.S.

重復性

≤±0.5% F.S.

檢出限(3σ)

≤±0.5% F.S.

響應時間(T90)

≤2s

  圖4 Gasboard-2060 SiF?紅外氣體傳感器的線性檢查與響應時間檢查
 
  4.3 應用案例
 
  實際測試中,Gasboard-2060在重復清潔過程中表現(xiàn)出較高的穩(wěn)定性(圖6)??蛻舴答伷湫阅芤堰_到或超越進口產(chǎn)品,成功實現(xiàn)清潔終點的精準控制,助力CVD設備技術升級。
  圖5 CVD腔室結構及紅外傳感器測量點
  圖6 CVD設備2次重復腔室清潔試驗的Gasboard-2060 SiF?實測數(shù)據(jù)曲線

會員登錄

×

請輸入賬號

請輸入密碼

=

請輸驗證碼

收藏該商鋪

X
該信息已收藏!
標簽:
保存成功

(空格分隔,最多3個,單個標簽最多10個字符)

常用:

提示

X
您的留言已提交成功!我們將在第一時間回復您~
撥打電話
在線留言